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家安川

新品 Yaskawa XU-RC350D-D91 デュアルアーム真空ウエハーロボット

高精度で安定した性能

産業用オートメーションに適しています

在庫あり & 世界中への迅速配送

商品番号:
XU-RC350D-D91
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
Japan
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明:

日本製のYaskawaクラシック4軸デュアルアーム高真空ウェーハロボットで、エッチング、成膜、イオン注入装置の真空チャンバー内での8/12-inchウェーハ搬送用に設計されています。磁性流体真空シールを採用し、超低パーティクル発生、ミクロンレベルの繰り返し位置決め精度を実現し、軽量カーボンファイバー製エンドエフェクタと組み合わせています。整備済み＆テスト済み在庫あり、完全なテストレポート付き、グローバルDAP配送および専門的なアフターサポート技術支援が利用可能です。

主な仕様:

独立したデュアル伸縮アームにより、ウェーハのピック＆プレースを交互に行い、ウェーハサイクルタイムを効果的に短縮し、ファブの生産能力を向上させます。
特殊な磁性流体シャフトシール構造により、低アウトガスで、高真空環境下でも安定した長期運転が可能で、厳しい半導体真空プロセス基準を満たします。
カーボンファイバー製ウェーハフォーク＋滑らかなSカーブサーボモーション制御により、繰り返し位置決め精度±0.05mmを実現し、ウェーハの傷やダスト汚染リスクを大幅に低減します。
装置全体にアウトガス抑制材料を使用し、内部防塵最適化を施し、薄膜形成、エッチング、イオン注入プロセスにおける半導体クリーンルーム基準に完全準拠しています。
XU-RC350D-K01整備済みテスト済みロボット在庫あり、3ヶ月保証、操作マニュアル、配線図およびリモートトラブルシューティングサービスを提供。複数のグローバル配送オプションあり、輸入関税および現地ICMS税は購入者負担。

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか？
A:新品の正規品です。1年間保証付きです。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T, Paypal対応。

Q3: 製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫ありで、支払い後3〜5営業日以内に発送されます。希少モデルはメーカー発注が必要です—納期についてはカスタマーサービスまでお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPS利用可能。発送後に追跡番号＋リンクを提供します。全プロセスを当チームがモニタリングします。

Q5:梱包と安全性