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新品のMKS Baratron 627BX13TDC1BS179 静電容量式マノメータ

高精度、安定した性能

産業用オートメーションに適しています

在庫あり＆世界中へ迅速配送

商品番号:
627BX13TDC1BS179
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明:

MKS Baratron 静電容量式マノメータは、半導体真空プロセス装置の業界標準となっている、高精度の絶対圧真空／圧力トランスデューサです。特許取得済みの静電容量式ダイヤフラムセンシング技術に基づき、ガス種に依存しない圧力測定を実現し、プロセスガス組成の影響を一切受けません。AMAT、LAM Researchおよび主要なウェーハ製造プラットフォームに広く採用されており、エッチング、CVD、PVD、ALDおよびガス供給システム向けに超安定なクローズドループ圧力制御を提供し、チャンバー内真空の一貫した精度を保証し、半導体製造の歩留まり向上に貢献します。

主要仕様:

最大±0.25%の読み取り精度、フルスケール0.01%の超高分解能、優れた長期安定性と最小限のドリフトにより、厳しい半導体プロセス要件を満たしますMKS。
ダイヤフラムおよび接液部には Inconel® / Incoloy® ニッケル合金または 316L stainless steel を採用し、完全溶接構造により、腐食性の特殊プロセスガスに耐性を持ちます。過酷なプラズマ環境での安全な動作のため、出荷前に100%リークテストを実施しています。
超高真空から高圧までをカバー：0.1 mTorr ~ 3000 PSIA。加熱モデル（45℃ / 100℃ オプション）は、揮発性プロセス媒体の凝縮を効果的に防ぎ、測定誤差を回避します。

用途:

半導体ファブ装置: AMAT Centura/Endura、LAM Kiyo/2300 エッチングシステム
薄膜成膜、プラズマエッチング、イオン注入のための精密真空制御
MFCガスキャビネット、真空ポンピングシステム、リーク検出および圧力安全インターロック
太陽光発電（Solar PV）、LEDコーティング、製薬向け真空プロセスおよび実験室での高精度真空試験

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか？
A:新品の正規品です。1年間の保証が含まれます。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、PayPal対応。

Q3: 製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫あり、支払い後3–5営業日以内に発送します。希少モデルはメーカー発注が必要となるため、納期についてはカスタマーサービスまでお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPS利用可能。発送後に追跡番号＋リンクを提供します。全プロセスを当社チームが監視します。

Q5:梱包と安全性