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新品 MKS Baratron AA02A11TCES41B000000 キャパシタンスマノメータ

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新品 MKS Baratron AA02A11TCES41B000000 キャパシタンスマノメータ

高精度、安定した性能

産業用オートメーションに適しています

在庫あり&世界中へ迅速配送

  • 商品番号:

    AA02A11TCES41B000000
  • 注文(MOQ):

    1
  • 支払い:

    100% T/T
  • 製品の起源:

    USA
  • 色:

    As Model
  • 出荷港:

    Xiamen
  • リードタイム:

    2-3 days
  • 製品詳細

説明:

MKS Baratron 静電容量式マノメータは、高精度の絶対真空/圧力トランスデューサであり、半導体真空プロセス装置の業界標準です。特許取得済みの静電容量式ダイアフラムセンシング技術に基づき、ガス種に依存しない圧力測定を実現し、プロセスガス組成の影響を完全に受けません。AMAT、LAM Researchおよび主要なウェーハ製造プラットフォームに広く採用されており、エッチング、CVD、PVD、ALDおよびガス供給システム向けに超安定なクローズドループ圧力制御を提供し、チャンバー真空精度の一貫性を保証し、半導体製造の歩留まり向上に貢献します。
 
 
 
主要仕様:
  1. 最高精度は読み取り値の±0.25%まで、超微細分解能0.01%フルスケール(FS)、優れた長期安定性と最小ドリフトにより、厳格な半導体プロセス要件を満たしますMKS。
  2. ダイアフラムおよび接液部には Inconel® / Incoloy® ニッケル合金または 316L ステンレス鋼を採用し、完全溶接構造とすることで、腐食性特殊プロセスガスに耐性を持ちます。過酷なプラズマ環境下での安全な動作のため、出荷前に100%リークテストを実施しています。
  3. 超微細真空から高圧まで対応:0.1 mTorr ~ 3000 PSIA。加熱モデル(45℃ / 100℃ オプション)は、揮発性プロセス媒体の凝縮を効果的に防ぎ、測定誤差を回避します。
 
 
 

用途:

  1. 半導体製造装置:AMAT Centura/Endura、LAM Kiyo/2300 エッチングシステム
  2. 薄膜成膜、プラズマエッチング、イオン注入のための高精度真空制御
  3. MFCガスキャビネット、真空ポンピングシステム、リーク検出および圧力安全インターロック
  4. 太陽光発電、LEDコーティング、医薬品真空プロセスおよび研究室での高精度真空試験

 

 

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか?
A:新品の純正品です。1年間の保証が付属します。

Q2:支払い条件は何ですか?
A:T/T、Paypalに対応しています。

Q3:製品の納期はどのくらいですか?在庫は十分にありますか?
A:標準モデルは在庫があり、支払い後3〜5営業日で発送されます。希少モデルはメーカー取り寄せとなるため、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。発送後に追跡番号とリンクが提供されます。全プロセスを当社チームが監視します。

Q5:梱包と安全性

 

A:純正ブランド梱包で強化保護(フォーム、密封カートン、精密機器用の木製クレート)を使用しています。防湿・耐衝撃仕様です。

 

 

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