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家安川

新品 Yaskawa XU-RC350S-J01 デュアルアーム真空ウエハーロボット

高精度、安定した性能

産業オートメーションに適しています

在庫あり＆世界中へ迅速配送

商品番号:
XU-RC350S-J01
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
Japan
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明：

Yaskawa製のクラシックな4軸デュアルアーム高真空ウェハロボットで、日本製。エッチング、成膜、イオン注入装置の真空チャンバー内での8/12インチウェハ搬送向けに設計。磁性流体真空シールを採用し、超低パーティクル生成、ミクロンレベルの繰り返し位置決め精度を実現。軽量カーボンファイバー製エンドエフェクタを組み合わせ。リファービッシュ済み＆テスト済みユニット在庫あり、完全なテストレポート付き、グローバルDAP配送および専門的なアフターセールス技術サポート提供可能。

主な仕様：

独立したデュアル伸縮アームにより、ウェハのピック＆プレースを交互に実行し、ウェハサイクルタイムを効果的に短縮し、ファブの生産能力を向上。
特殊な磁性流体シャフトシール構造により、低アウトガスで、高真空環境下で安定した長期運転が可能。厳格な半導体真空プロセス基準に適合。
カーボンファイバー製ウェハフォーク＋滑らかなS字サーボモーション制御、繰り返し位置決め精度±0.05mmにより、ウェハの傷や粉塵汚染リスクを大幅に低減。
装置全体にアウトガス抑制材料を使用し、内部の防塵最適化を実施。薄膜、エッチング、イオン注入プロセス向けの半導体クリーンルーム基準に完全準拠。
XU-RC350D-K01 リファービッシュ済みテストロボット在庫あり、3か月保証、操作マニュアル、配線図およびリモートトラブルシューティングサービス提供。複数のグローバル配送オプションあり、輸入関税および現地ICMS税は購入者負担。

よくある質問：

Q1：製品の状態と保証はどのようになっていますか？
A：新品の正規品です。1年間保証付き。

Q2：支払い条件は何ですか？
A：T/T、PayPal対応。

Q3：商品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A：標準モデルは在庫あり、支払い後3～5営業日で発送します。希少モデルはメーカー発注が必要で、納期はカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4：配送と追跡
A：DHL/FedEx/UPS利用可能。発送後に追跡番号とリンクを提供。全工程を当社チームがモニタリングします。

Q5：梱包と安全性