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家安川

新品 Yaskawa XU-RC350D-C03 デュアルアーム真空ウエハーロボット

高精度、安定した性能

産業用オートメーションに適しています

在庫あり & 世界中へ迅速配送

商品番号:
XU-RC350D-C03
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
Japan
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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新製品

製品詳細

説明:

Yaskawa製のクラシックな4軸デュアルアーム高真空ウェーハロボット（日本製）。エッチング、成膜、イオン注入装置の真空チャンバー内で8/12インチウェーハの搬送用に設計されています。磁性流体真空シーリングを採用し、超低パーティクル発生、ミクロンレベルの繰り返し位置決め精度を実現。軽量カーボンファイバー製エンドエフェクタを組み合わせています。整備済み＆テスト済みユニット在庫あり、完全なテストレポート付き。グローバルDAP配送および専門的なアフターサポート技術支援が利用可能です。

主要仕様:

デュアル独立伸縮アームにより、ウェーハのピック＆プレースを交互に行い、ウェーハサイクルタイムを効果的に短縮し、ファブの生産能力を向上させます。
特殊な磁性流体シャフトシール構造を採用し、低アウトガス性を実現。高真空環境下でも長期にわたり安定した動作が可能で、厳格な半導体真空プロセス基準を満たします。
カーボンファイバー製ウェーハフォーク＋滑らかなSカーブサーボモーション制御により、繰り返し位置決め精度±0.05mmを実現し、ウェーハの傷やダスト汚染リスクを大幅に低減します。
機械全体にアウトガス低減材料を使用し、内部防塵設計を最適化。薄膜、エッチング、イオン注入プロセスにおける半導体クリーンルーム基準に完全準拠しています。
XU-RC350D-K01整備済みテスト済みロボット在庫あり、3ヶ月保証付き。取扱説明書、配線図およびリモートトラブルシューティングサービスを提供します。複数のグローバル配送オプションに対応し、輸入関税および現地ICMS税は購入者負担となります。

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか？
A:新品の正規品です。1年間の保証が含まれています。

Q2:お支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypalに対応しています。

Q3:製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫があり、支払い後3～5営業日以内に出荷されます。希少モデルはメーカー発注が必要なため、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。発送後に追跡番号とリンクを提供します。全工程を当社チームが監視します。

Q5:梱包と安全性