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家安川

新品 Yaskawa XU-RC350D-K01 デュアルアーム真空ウェーハロボット

高精度、安定した性能

産業用オートメーションに適しています

在庫あり & 世界中への迅速配送

商品番号:
XU-RC350D-K01
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
Japan
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明：

日本製のYaskawaクラシック4軸デュアルアーム高真空ウェーハロボットで、エッチング、成膜、イオン注入装置の真空チャンバー内での8/12インチウェーハ搬送用に設計されています。磁性流体真空シールを採用し、超低パーティクル発生、ミクロンレベルの繰り返し位置決め精度を実現し、軽量カーボンファイバー製エンドエフェクタと組み合わせています。整備済み＆テスト済みユニットを在庫しており、完全なテストレポート、グローバルDAP配送および専門的なアフターセールス技術サポートが利用可能です。

主な仕様：

独立したデュアル伸縮アームにより、ウェーハの交互ピック＆プレースを実現し、ウェーハサイクルタイムを効果的に短縮し、ファブの生産能力を向上させます。
特殊な磁性流体シャフトシール構造により、低アウトガスを実現し、高真空環境下でも安定した長期稼働が可能で、厳格な半導体真空プロセス基準を満たします。
カーボンファイバー製ウェーハフォーク＋滑らかなS字カーブサーボモーション制御により、繰り返し位置決め精度±0.05mmを実現し、ウェーハの傷や粉塵汚染リスクを大幅に低減します。
装置全体にアウトガス抑制材料を使用し、内部の防塵最適化を施しており、薄膜、エッチング、イオン注入プロセスにおける半導体クリーンルーム基準に完全準拠しています。
XU-RC350D-K01の整備・テスト済みロボットを在庫しており、3ヶ月保証付き、操作マニュアル、配線図およびリモートトラブルシューティングサービスを提供します。複数のグローバル配送オプションがあり、輸入関税および現地ICMS税は購入者負担です。

FAQ：

Q1：製品の状態と保証はどのようになっていますか？
A：新品の正規品です。1年間の保証が含まれます。

Q2：支払い条件は何ですか？
A：T/T、Paypal対応です。

Q3：製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A：標準モデルは在庫があり、支払い後3～5営業日以内に発送されます。希少モデルはメーカーへの発注が必要となるため、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4：配送と追跡
A：DHL/FedEx/UPSが利用可能です。発送後に追跡番号とリンクを提供します。全工程を当社チームがモニタリングします。

Q5：梱包と安全性