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新品 MKS Baratron 626A12TDE 静電容量式マノメーター

高精度、安定した性能

産業用オートメーションに適しています

在庫あり・世界中へ迅速配送

商品番号:
626A12TDE
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明：

MKS Baratronキャパシタンスマノメータは、半導体真空プロセス装置向けの業界標準として位置付けられる、最高級の高精度絶対真空／圧力トランスデューサです。特許取得済みの静電容量ダイヤフラムセンシング技術に基づき、ガス種に依存しない圧力測定を実現し、プロセスガス組成の影響を一切受けません。AMAT、LAM Researchおよび主流ウェーハ製造プラットフォームと広く適合し、エッチング、CVD、PVD、ALDおよびガス供給システムにおいて超安定な閉ループ圧力制御を提供し、半導体製造におけるチャンバー真空精度の一貫性を保証し、生産歩留まりの向上に貢献します。

主な仕様：

最高精度は読み取り値の±0.25%まで対応し、フルスケール0.01%の超微細分解能を実現。優れた長期安定性と最小限のドリフトにより、厳格な半導体プロセス要件を満たしますMKS。
ダイヤフラムおよび接液部にはInconel® / Incoloy®ニッケル合金または316Lステンレス鋼を採用し、完全溶接構造を実現。腐食性の特殊プロセスガスに耐性があります。過酷なプラズマ環境での安全運用のため、出荷前に100%リークテストを実施しています。
超高真空から高圧まで対応：0.1 mTorr ～ 3000 PSIA。加熱モデル（45℃ / 100℃オプション）は、揮発性プロセス媒体の凝縮を効果的に防ぎ、測定誤差を回避します。

用途：

半導体製造装置：AMAT Centura/Endura、LAM Kiyo/2300エッチングシステム
薄膜成膜、プラズマエッチングおよびイオン注入のための高精度真空制御
MFCガスキャビネット、真空ポンプシステム、リーク検知および圧力安全インターロック
太陽光発電、LEDコーティング、製薬向け真空プロセスおよび研究室での高精度真空試験

FAQ：

Q1:製品の状態と保証はどうなっていますか？
A:新品の正規品です。1年間の保証が付属します。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypalに対応しています。

Q3: 製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分ありますか？
A:標準モデルは在庫ありで、支払い後3〜5営業日以内に出荷されます。希少モデルはメーカー発注が必要となるため、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送・追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。出荷後に追跡番号とリンクを提供します。全プロセスを当社チームが監視します。

Q5:梱包・安全性