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新品 MKS Baratron E28H.1TBF1B 静電容量式マノメーター

高精度で安定した性能

産業用オートメーションに適しています

在庫あり＆世界中へ迅速配送

商品番号:
E28H.1TBF1B
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明:

MKS Baratron 静電容量式マノメータは、高精度の高級絶対真空／圧力トランスデューサであり、半導体真空プロセス装置の業界標準です。特許取得済みの静電容量ダイアフラムセンシング技術に基づき、ガス種に依存しない圧力測定を実現し、プロセスガス組成の影響を完全に受けません。AMAT、LAM Research および主要なウェーハ製造プラットフォームと広く適合し、エッチング、CVD、PVD、ALDおよびガス供給システム向けに超安定なクローズドループ圧力制御を提供し、チャンバー真空精度の一貫性を保証し、半導体製造の歩留まり向上に貢献します。

主な仕様:

トップクラスの精度は最大±0.25%の読み取り値、超微細分解能0.01%フルスケール、厳格な半導体プロセス要件を満たす優れた長期安定性と最小ドリフトを備えています。MKS.
ダイアフラムおよび接液部には Inconel® / Incoloy® ニッケル合金または 316L ステンレス鋼を採用し、フル溶接構造により腐食性特殊プロセスガスに耐性があります。出荷前に100%リークテストを実施し、過酷なプラズマ環境下での安全な運用を保証します。
超高精度真空から高圧まで対応：0.1 mTorr ~ 3000 PSIA。加熱モデル（45℃ / 100℃ オプション）は揮発性プロセス媒体の凝縮を効果的に防ぎ、測定誤差を回避します。

用途：

半導体ファブ装置：AMAT Centura/Endura、LAM Kiyo/2300 エッチングシステム
薄膜成膜、プラズマエッチングおよびイオン注入のための高精度真空制御
MFCガスキャビネット、真空ポンピングシステム、リーク検出および圧力安全インターロック
太陽光発電、LEDコーティング、製薬用真空プロセスおよび実験室での高精度真空試験

FAQ：

Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか？
A:新品の正規品です。1年間の保証が含まれています。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypalに対応しています。

Q3: 製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫があり、支払い後3～5営業日で発送されます。希少モデルはメーカー発注が必要です—納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。発送後に追跡番号＋リンクを提供します。全プロセスを当社チームが監視します。

Q5:梱包と安全性