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新品 Lam Research 810-028298-025 PCB制御ボード

高精度で安定した性能

産業オートメーションに適しています

在庫あり & 世界中への迅速配送

商品番号:
810-028298-025
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明：

LAM Research PCB制御ボードは、Lamの半導体エッチングおよび薄膜プロセス装置向けに特別に設計されたOEM純正のコアプリント回路アセンブリです。装置の中枢制御バックボーンとして、これらのボードは高速信号処理、リアルタイム論理制御、精密I/Oデータ取得、電力分配、およびシステム間通信を実行します。厳格な半導体クリーンルーム基準および多層高密度PCB技術で製造されており、優れた耐EMI性、耐振動性、低アウトガス性能を提供し、真空プラズマ環境下での安定した長期運転を維持し、ウェハプロセス精度とファブ生産歩留まりを効果的に保証します。

主要仕様：

CPUノードボード、VIOP I/Oボード、温度取得ボード、電源ドライバボード、通信ジャンクションボード、センサーインターフェースボードを含む全シリーズを網羅し、Lamプロセス装置のすべての制御サブシステムに完全対応しています。
高品位な多層PCBレイアウトで、インピーダンス制御、優れたノイズ抑制、低信号減衰、高伝送速度を備え、プロセスチャンバー内の高周波RF信号および微弱センサー信号処理に最適に適合します。
産業グレード（車載グレード）の電子部品を採用し、動作温度範囲は-40°C〜+85°C、厳格なESD保護設計を備え、強いプラズマ干渉下でも安定した性能を発揮し、高温かつ24時間365日のファブ運用に対応します。
VMEバス、Ethernet、RS232/485およびLam独自の専用通信プロトコルをサポートし、Lamホストコントローラ、MFCガスモジュール、エンドポイント分光計、サーボドライブユニットとのシームレスなプラグアンドプレイ接続を実現します。
過電圧、過電流、短絡、過温度保護回路を内蔵し、リアルタイム障害コード読み取りおよび迅速なトラブルシューティングのためのデバッグポートを確保し、装置ダウンタイムを削減します。

代表的な用途：

Lamの主流エッチング装置：2300 Flex、Kiyoシリーズ、ExALエッチングシステム
プラズマエッチング、PVD/CVD薄膜堆積、ウェハ真空プロセス装置
チャンバー温度、圧力、ガス流量、RFパワーおよびウェハ搬送のリアルタイム制御
エンドポイント検出システム、F&G安全インターロックおよび装置ホストデータインタラクション

FAQ：

Q1:製品の状態と保証はどうなっていますか？
A:新品の純正品です。1年保証付きです。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypal対応です。

Q3:製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分ですか？
A:標準モデルは在庫あり、支払い後3〜5営業日で発送します。希少モデルはメーカー取り寄せのため、納期はカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPS利用可能です。発送後に追跡番号とリンクを提供します。全プロセスを当社チームが監視します。

Q5:梱包と安全性