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新品 Lam Research 810-072687-008 PCB制御ボード

高精度、安定したパフォーマンス

産業用オートメーションに適しています

在庫あり＆世界中へ迅速配送

商品番号:
810-072687-008
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明:

LAM Research PCB制御ボードは、Lamの半導体エッチングおよび薄膜処理装置向けに特別に設計された純正OEMのコアプリント回路アセンブリです。装置の中枢制御バックボーンとして、これらのボードは高速信号処理、リアルタイム論理制御、高精度I/Oデータ取得、電力分配、システム間通信を実行します。厳格な半導体クリーンルーム基準および多層高密度PCB技術により製造され、優れた耐EMI性、耐振動性、低アウトガス性能を実現し、真空プラズマ環境下での安定した長期動作を維持し、ウェハプロセス精度とファブ生産歩留まりを効果的に保証します。

主な仕様:

全シリーズは、メインCPUノードボード、VIOP I/Oボード、温度取得ボード、電源ドライバーボード、通信ジャンクションボード、センサーインターフェースボードをカバーし、Lamプロセス装置のすべての制御サブシステムに完全対応しています。
高級多層PCBレイアウトでインピーダンス制御を備え、優れたノイズ抑制、低信号減衰、高伝送速度を実現し、プロセスチャンバー内の高周波RF信号および微弱センサー信号処理に最適に適合します。
産業グレードの自動車電子部品を採用し、動作温度範囲は-40°C～+85°C、厳格なESD保護設計を備え、強いプラズマ干渉下でも安定した性能を発揮し、高温環境および24時間365日のファブ運用に対応します。
VMEバス、Ethernet、RS232/485およびLam独自の専用通信プロトコルをサポートし、Lamホストコントローラ、MFCガスモジュール、エンドポイント分光計、サーボドライブユニットとシームレスなプラグアンドプレイ接続を実現します。
過電圧、過電流、短絡、過熱保護回路を内蔵し、リアルタイム障害コード読み取りと迅速なトラブルシューティングのためのデバッグポートを確保し、装置のダウンタイムを削減します。

代表的な用途:

Lamの主力エッチング装置: 2300 Flex、Kiyoシリーズ、ExALエッチシステム
プラズマエッチング、PVD/CVD薄膜成膜、ウェハ真空プロセス装置
チャンバー温度、圧力、ガス流量、RF電力、ウェハ搬送のリアルタイム制御
エンドポイント検出システム、F&G安全インターロックおよび装置ホストデータ連携

FAQ:

Q1:What is the product situation and warranty like?
A:Brand-new genuine items. 1-year warranty included.

Q2:What is your payment terms?
A:T/T, Paypal supported.

Q3: What is the delivery time for the product? Is there sufficient inventory?
A:標準モデルは在庫あり、支払い後3–5営業日で発送します。希少モデルはメーカー発注が必要で、納期はカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:Shipping & Tracking
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。発送後に追跡番号とリンクを提供します。全プロセスを当社チームが監視します。

Q5:Packaging & Safety