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新品 Lam Research 810-04821-021 PCB制御ボード

高精度、安定した性能

産業オートメーションに適しています

在庫あり & 世界中へ迅速配送

商品番号:
810-04821-021
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明：

LAM ResearchのPCB制御ボードは、Lamの半導体エッチングおよび薄膜プロセス装置向けに特別に設計された純正OEMのコアプリント回路アセンブリです。本ツールの中央制御バックボーンとして、これらのボードは高速信号処理、リアルタイム論理制御、精密I/Oデータ収集、電源分配、システム間通信を実行します。厳格な半導体クリーンルーム基準および多層高密度PCB技術で製造されており、優れた耐EMI性能、耐振動性能、低アウトガス性能を備え、真空プラズマ環境下での安定した長期動作を維持し、ウェーハプロセス精度とファブ生産歩留まりを効果的に保証します。

主な仕様：

全シリーズは、メインCPUノードボード、VIOP I/Oボード、温度取得ボード、電源ドライバボード、通信ジャンクションボード、センサーインターフェースボードを網羅し、Lamプロセス装置のすべての制御サブシステムに完全対応しています。
高品質な多層PCBレイアウトとインピーダンス制御により、優れたノイズ抑制、低信号減衰、高伝送速度を実現し、プロセスチャンバー内の高周波RF信号および微弱センサー信号処理に最適化されています。
車載グレードの産業用電子部品を採用し、動作温度範囲は-40°C〜+85°C、厳格なESD保護設計を備え、強いプラズマ干渉、高温、24時間365日のファブ連続稼働下でも安定した性能を発揮します。
VMEバス、Ethernet、RS232/485およびLam独自の専用通信プロトコルをサポートし、Lamホストコントローラ、MFCガスモジュール、エンドポイント分光器、サーボドライブユニットとシームレスなプラグアンドプレイ接続を実現します。
過電圧、過電流、短絡、過熱保護回路を内蔵し、リアルタイム障害コード読み取りおよび迅速なトラブルシューティングのためのデバッグポートを確保することで、装置のダウンタイムを削減します。

代表的な用途：

Lamの主力エッチング装置：2300 Flex、Kiyoシリーズ、ExALエッチングシステム
プラズマエッチング、PVD/CVD薄膜成膜、ウェーハ真空プロセス装置
チャンバー温度、圧力、ガス流量、RFパワーおよびウェーハ搬送のリアルタイム制御
エンドポイント検出システム、F&G安全インターロックおよび装置ホストデータ連携

よくある質問：

Q1：製品の状態と保証はどうなっていますか？
A：新品の純正品です。1年間の保証が付いています。

Q2：支払い条件は何ですか？
A：T/T、PayPalに対応しています。

Q3：製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A：標準モデルは在庫あり、支払い確認後3〜5営業日以内に発送します。希少モデルはメーカー取り寄せとなるため、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4：配送と追跡
A：DHL/FedEx/UPSが利用可能です。発送後に追跡番号とリンクを提供し、全プロセスを当社チームが監視します。

Q5：梱包と安全性