説明:
LAM Research PCB制御ボードは、Lamの半導体エッチングおよび薄膜プロセス装置向けに特別に設計されたオリジナルOEMのコアプリント基板アセンブリです。装置の中央制御バックボーンとして、これらのボードは高速信号処理、リアルタイム論理制御、精密なI/Oデータ取得、電力分配、システム間通信を実行します。厳格な半導体クリーンルーム基準および多層高密度PCB技術により製造され、優れた耐EMI・耐振動・低アウトガス性能を実現し、真空プラズマ環境下での安定した長期動作を維持し、ウェーハプロセス精度およびファブ生産歩留まりを効果的に保証します。
主要仕様:
- フルシリーズは、メインCPUノードボード、VIOP I/Oボード、温度取得ボード、電源ドライバーボード、通信ジャンクションボード、センサーインターフェースボードを網羅しており、Lamプロセス装置のすべての制御サブシステムに完全に対応しています。
- 高品質なマルチレイヤPCBレイアウトによりインピーダンス制御を実現し、優れたノイズ抑制、低信号減衰、高伝送速度を備え、プロセスチャンバー内の高周波RF信号および微弱センサー信号処理に最適化されています。
- 産業グレードの自動車用電子部品を採用し、動作温度範囲は-40°C~+85°C。厳格なESD保護設計により、強いプラズマ干渉、高温、24時間365日のファブ連続稼働下でも安定した性能を発揮します。
- VMEバス、Ethernet、RS232/485、およびLam独自の専用通信プロトコルをサポートし、Lamホストコントローラ、MFCガスモジュール、エンドポイント分光計、サーボドライブユニットとのシームレスなプラグアンドプレイ接続を実現します。
- 過電圧、過電流、短絡、過温度保護回路を内蔵し、リアルタイムの故障コード読み取りおよび迅速なトラブルシューティングのためのデバッグポートを確保して、装置のダウンタイムを削減します。
代表的な用途:
- Lamの主力エッチング装置:2300 Flex、Kiyoシリーズ、ExALエッチングシステム
- プラズマエッチング、PVD/CVD薄膜成膜、ウェーハ真空プロセス装置
- チャンバー温度、圧力、ガス流量、RF電力およびウェーハ搬送のリアルタイム制御
- エンドポイント検出システム、F&G安全インターロックおよび装置ホストデータ連携
FAQ:
Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか?
A:新品の正規品です。1年間の保証が付属します。
Q2:お支払い条件は何ですか?
A:T/T、Paypalに対応しています。
A:製品の納期はどのくらいですか?在庫は十分にありますか?
A:標準モデルは在庫があり、入金確認後3~5営業日以内に発送されます。希少モデルはメーカーへの発注が必要となるため、納期についてはカスタマーサービスまでお問い合わせください。
Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSに対応しています。発送後に追跡番号とリンクを提供します。弊社チームによる全工程のモニタリングを行います。
Q5:梱包と安全性
A:オリジナルブランド包装に加え、強化保護(フォーム、密封カートン、精密機器用の木製クレート)を施しています。防湿・耐衝撃仕様です。