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新品 Lam Research 810-028298-008 PCB制御基板

高精度で安定した性能

産業オートメーションに適しています

在庫あり＆世界中への迅速配送

商品番号:
810-028298-008
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明：

LAM Research PCB制御ボードは、Lamの半導体エッチングおよび薄膜プロセス装置向けに特別設計されたオリジナルOEMのコアプリント回路アセンブリです。ツールの中核制御バックボーンとして、これらのボードは高速信号処理、リアルタイム論理制御、精密I/Oデータ収集、電力分配およびシステム間通信を実行します。半導体クリーンルームの厳格な基準および多層高密度PCB技術で製造されており、優れた耐EMI、耐振動、低アウトガス性能を提供し、真空プラズマ環境での安定した長期動作を維持します。これによりウェーハプロセス精度およびファブ生産歩留まりを効果的に保証します。

主な仕様：

フルシリーズは、メインCPUノードボード、VIOP I/Oボード、温度取得ボード、電源ドライバーボード、通信ジャンクションボード、センサーインターフェースボードを網羅し、Lamプロセス装置のすべての制御サブシステムに完全に対応しています。
高品質な多層PCBレイアウトでインピーダンス制御を備え、優れたノイズ抑制、低信号減衰、高伝送速度を実現し、プロセスチャンバー内の高周波RF信号および微弱センサー信号処理に最適に適合しています。
産業グレードの車載電子部品を採用し、動作温度範囲は-40°C～+85°C。厳格なESD保護設計により、強いプラズマ干渉、高温、24時間365日のファブ連続稼働下でも安定した性能を発揮します。
VMEバス、Ethernet、RS232/485および専用のLam独自通信プロトコルをサポートし、Lamホストコントローラ、MFCガスモジュール、エンドポイント分光計、サーボドライブユニットとのシームレスなプラグアンドプレイ接続を実現します。
過電圧、過電流、短絡、過温度保護回路を内蔵し、リアルタイム障害コード読み取りおよび迅速なトラブルシューティングのためのデバッグポートを確保して、装置ダウンタイムを削減します。

代表的な用途：

Lamの主流エッチング装置：2300 Flex、Kiyoシリーズ、ExALエッチングシステム
プラズマエッチング、PVD/CVD薄膜成膜、ウェーハ真空プロセス装置
チャンバー温度、圧力、ガス流量、RF電力およびウェーハ搬送のリアルタイム制御
エンドポイント検出システム、F&G安全インターロックおよび装置ホストデータ連携

FAQ：

Q1:製品の状態と保証はどうなっていますか？
A:新品の純正品です。1年間保証付き。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、PayPal対応。

Q3:製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫あり、支払い後3～5営業日以内に出荷。希少モデルはメーカー取り寄せとなるため、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPS対応。出荷後に追跡番号＋リンクを提供。全プロセスを当社チームが監視します。

Q5:梱包と安全性