説明:
LAM ResearchのPCB制御ボードは、Lamの半導体エッチングおよび薄膜プロセス装置向けに特別に設計された純正OEMのコアプリント回路アセンブリです。装置の中枢制御バックボーンとして、これらのボードは高速信号処理、リアルタイム論理制御、精密なI/Oデータ取得、電力分配、およびシステム間通信を実行します。厳格な半導体クリーンルーム基準および多層高密度PCB技術で製造されており、優れた耐EMI・耐振動・低アウトガス性能を備え、真空プラズマ環境下での安定した長期動作を維持し、ウェーハプロセス精度とファブ生産歩留まりを効果的に保証します。
主要仕様:
- フルシリーズは、メインCPUノードボード、VIOP I/Oボード、温度取得ボード、パワードライバーボード、通信ジャンクションボード、センサーインターフェースボードを網羅し、Lamプロセス装置のすべての制御サブシステムに完全に対応しています。
- 高品質な多層PCBレイアウトにより、インピーダンス制御、優れたノイズ抑制、低信号減衰、高速伝送を実現し、プロセスチャンバー内の高周波RF信号および微弱センサー信号処理に完全に適合します。
- 産業グレードの車載電子部品を採用し、-40°C〜+85°Cの広い動作温度範囲、厳格なESD保護設計を備え、強いプラズマ干渉、高温および24/7の連続ファブ運転下でも安定した性能を発揮します。
- VMEバス、Ethernet、RS232/485およびLam独自の専用通信プロトコルをサポートし、Lamホストコントローラ、MFCガスモジュール、エンドポイント分光計、サーボドライブユニットとのシームレスなプラグアンドプレイ接続を実現します。
- 過電圧、過電流、短絡、過熱保護回路を内蔵し、リアルタイムの障害コード読み取りと迅速なトラブルシューティングのためのデバッグポートを確保し、装置のダウンタイムを削減します。
典型的な用途:
- Lamの主流エッチング装置:2300 Flex、Kiyoシリーズ、ExALエッチシステム
- プラズマエッチング、PVD/CVD薄膜成膜、ウェーハ真空プロセス装置
- チャンバー温度、圧力、ガス流量、RF電力およびウェーハ搬送のリアルタイム制御
- エンドポイント検出システム、F&G安全インターロックおよび装置ホストデータ連携
FAQ:
Q1:製品の状態と保証はどうなっていますか?
A:新品の純正品です。1年間の保証付きです。
Q2:お支払い条件は何ですか?
A:T/T、Paypal対応です。
Q3:製品の納期はどのくらいですか?在庫は十分にありますか?
A:標準モデルは在庫があり、支払い後3〜5営業日で発送します。希少モデルはメーカー発注が必要なため、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。
Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。発送後に追跡番号とリンクを提供します。全プロセスを当社チームが監視します。
Q5:梱包と安全性
A:強化保護を施した純正ブランド梱包(フォーム、密封カートン、精密機器用の木箱)を使用しています。防湿・耐衝撃対応です。