説明:
MKS Diaphragm Valvesは、高純度ガス、真空、および重要な流体プロセス産業向けに特別に開発された、精密設計のアイソレーションおよびスロットリング制御バルブであり、半導体、真空コーティング、バイオテクノロジー、ファインケミカル分野におけるMKSの数十年にわたる精密流体制御技術に由来します。コアとなるダイアフラム隔離構造を採用し、柔軟なダイアフラムがプロセス媒体をアクチュエータおよび内部可動部品から完全に分離することで、外部漏れゼロ、超クリーンな流路、そして精密な開閉および比例流量制御を実現し、MKSのマスフローコントローラ、圧力トランスデューサ、およびプロセス制御システムと広く組み合わせられ、産業用流体ソリューションのフルセットを提供します。
主な仕様:
- ダイアフラム隔離設計により外部漏れリスクを排除し、デッドスペースのない滑らかな内部流路は粒子の蓄積を防止し、超高純度ガスおよび衛生生産基準を満たし、クリーンルームおよび半導体ウェーハ製造に最適です。
- 選択可能なダイアフラム材料:Kalrez、Viton、Buna-N、EPDM、PTFE。イナートガス、腐食性化学ガス、高純度液体、溶剤および低粘度スラリーに対応し、-10℃から150℃までの動作温度に対応し、高温プロセスモデルにも適応します。
- MKS純正の制御ドライバーおよびフローセンサーと組み合わせることで、高精度な閉ループ流量/圧力調整を実現します。調整可能な流量範囲は0.1sccm〜50000sccmをカバーし、優れた低流量制御安定性を備え、最小制御流量はフルスケールの0.1%まで対応します。
- 手動、ソレノイド電動、空気圧アクチュエーション(常開/常閉)に対応。エンド接続はVCR、KFフランジ、NPTねじ、ISO標準フランジに対応し、世界の主要配管規格に適合します。
- クイック交換可能なダイアフラムで、バルブ全体の分解は不要。コンパクトなオールインワン構造によりスペアパーツコストと設備ダウンタイムを削減し、頻繁な切替作業条件に対して高い耐サイクル疲労性を備えます。
- 出荷前に厳格なリークテストを実施し、コーティング、蒸着および薄膜形成装置における高/超高真空配管の隔離用途に適用可能です。
Q1:製品の状態と保証はどうなっていますか?
A:新品の正規品です。1年間の保証が付属します。
Q2:支払い条件は何ですか?
A:T/T、Paypalに対応しています。
Q3:製品の納期はどのくらいですか?在庫は十分にありますか?
A:標準モデルは在庫があり、支払い確認後3〜5営業日以内に出荷されます。希少モデルはメーカー発注が必要となるため、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。
Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSをご利用いただけます。出荷後に追跡番号とリンクを提供します。全工程を当社チームが監視します。
Q5:梱包と安全性
A:純正ブランド梱包に強化保護(フォーム、密封カートン、精密機器用木箱)を施しています。防湿・耐衝撃性があります。