説明:
MKSダイアフラムバルブは、高純度ガス、真空、および重要な流体プロセス産業向けに特別に開発された、精密設計の遮断および絞り制御バルブであり、MKSの半導体、真空コーティング、バイオテクノロジー、ファインケミカル分野における数十年にわたる精密流体制御技術に由来しています。コアとなるダイアフラム隔離構造を採用し、柔軟なダイアフラムがプロセス媒体をアクチュエータおよび内部可動部品から完全に分離することで、外部漏れゼロ、超クリーンな流路、そして高精度なオン/オフおよび比例流量制御を実現し、MKSのマスフローコントローラ、圧力トランスデューサ、およびプロセス制御システムと広く組み合わせて、完全な産業用流体ソリューションを提供します。
主要仕様:
- ダイアフラム隔離設計により外部漏れリスクを排除し、デッドスペースのない滑らかな内部流路は粒子の蓄積を防ぎ、超高純度ガスおよび衛生的生産基準を満たし、クリーンルームおよび半導体ウェーハ製造に最適です。
- カルレッツ(Kalrez)、バイトン(Viton)、ブナ-N、EPDM、PTFEなどのダイアフラム材料を選択可能で、不活性ガス、腐食性化学ガス、高純度液体、溶剤および低粘度スラリーに対応し、-10℃から150℃までの使用温度に対応し、高温プロセスモデルにも適応します。
- MKS純正のコントロールドライバおよびフローセンサーと組み合わせることで、高精度な閉ループ流量/圧力調整を実現します。調整可能な流量範囲は0.1sccm〜50000sccmをカバーし、優れた低流量制御安定性を備え、最小制御流量はフルスケールの0.1%まで対応します。
- 手動、電磁ソレノイド式、空圧作動(ノーマルオープン/ノーマルクローズ)に対応し、エンド接続にはVCR、KFフランジ、NPTねじ、ISO標準フランジを備え、世界の主要配管規格に適合します。
- クイック交換可能なダイアフラムを採用し、バルブ全体の分解なしで交換が可能です。コンパクトなオールインワン構造により予備部品コストと装置ダウンタイムを削減し、頻繁な開閉条件においても高い耐疲労性を備えています。
- 出荷前に厳格なリークテストを実施し、コーティング、蒸着、薄膜成膜装置における高真空/超高真空配管の遮断用途に適用可能です。
Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか?
A:新品の純正品です。1年間の保証が付属します。
Q2:支払い条件は何ですか?
A:T/T、PayPalに対応しています。
Q3:製品の納期はどのくらいですか?在庫は十分にありますか?
A:標準モデルは在庫があり、支払い後3〜5営業日で出荷されます。希少モデルはメーカー発注となるため、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。
配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。追跡番号とリンクは出荷後に提供されます。全工程を当社チームが監視します。
梱包と安全性
A:純正ブランド包装に強化保護(フォーム、密封カートン、精密機器用木箱)を施しています。防湿・耐衝撃仕様です。