説明:
MKSダイアフラムバルブは、高純度ガス、真空、および重要な流体プロセス産業向けに特別に開発された、精密に設計された遮断およびスロットリング制御バルブです。MKSが半導体、真空コーティング、バイオテクノロジー、ファインケミカル分野で数十年にわたり培ってきた精密流体制御技術に由来しています。コアとなるダイアフラム隔離構造を採用し、柔軟なダイアフラムがプロセス媒体をアクチュエータおよび内部可動部品から完全に分離することで、外部漏れゼロ、超クリーンな流路、そして正確なオン/オフおよび比例流量制御を実現します。MKSマスフローコントローラ、圧力トランスデューサ、およびプロセス制御システムと広く組み合わせて、完全な産業用流体ソリューションを提供します。
主な仕様:
- ダイアフラム隔離設計により外部漏れリスクを排除し、滑らかでデッドスペースのない内部流路は粒子の蓄積を防止し、超高純度ガスおよび衛生的生産基準を満たし、クリーンルームや半導体ウェハ製造に最適です。
- 選択可能なダイアフラム材料:Kalrez、Viton、Buna-N、EPDM、PTFE。これらは不活性ガス、腐食性化学ガス、高純度液体、溶剤および低粘度スラリーに対応します。動作温度は-10℃から最大150℃まで対応し、高温プロセスモデルにも適応します。
- 純正MKS制御ドライバおよび流量センサーと組み合わせることで、高精度のクローズドループ流量/圧力調整を実現します。調整可能な流量範囲は0.1sccm〜50000sccmで、優れた低流量制御安定性を備え、最小制御可能流量はフルスケールの0.1%までです。
- 手動、ソレノイド電動、空圧作動(常開/常閉)の各方式が利用可能です。エンド接続はVCR、KFフランジ、NPTねじ、ISO標準フランジに対応し、世界標準の配管仕様に適合します。
- ダイアフラムはバルブ全体を分解することなく迅速に交換可能で、コンパクトなオールインワン構造によりスペア部品コストと装置ダウンタイムを削減します。頻繁な切替条件下でも高いサイクル疲労耐性を備えています。
- 工場出荷前に厳格なリークテストを実施しており、コーティング、蒸着および薄膜成膜装置における高真空/超高真空配管の遮断用途に適用可能です。
Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか?
A:新品の正規品です。1年間の保証が付属します。
Q2:支払い条件は何ですか?
A:T/T、Paypalに対応しています。
Q3: 製品の納期はどのくらいですか?在庫は十分にありますか?
A:標準モデルは在庫があり、支払い確認後3〜5営業日以内に発送します。希少モデルはメーカー発注が必要となるため、納期についてはカスタマーサービスまでお問い合わせください。
Q4:配送および追跡
A:DHL/FedEx/UPSに対応しています。発送後に追跡番号とリンクを提供します。全工程を当社チームがモニタリングします。
Q5:梱包および安全性
A:オリジナルブランド包装に加え、強化保護(フォーム、密封カートン、精密機器用木箱)を施しています。防湿・耐衝撃性があります。