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新品 Lam Research P36W-L20 マスフローコントローラー

高精度で安定した性能

産業オートメーションに適しています

在庫あり & 世界中へ迅速配送

商品番号:
P36W-L20
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明:

LAM Researchのfiber optic spectrometersは、半導体ウエハ処理装置に統合された高精度の光学モニタリングデバイスです。主にプロフェッショナル光学モジュールと組み合わせて使用され、ファイバーオプティック伝送設計を採用し、プロセスチャンバー内のプラズマ発光、反射および透過スペクトルを取得します。エッチングエンドポイント検出、薄膜計測、およびリアルタイムのプラズマ状態モニタリングに広く使用され、これらのユニットは安定したプロセス性能を確保し、歩留まりを向上させ、エッチング、CVD、PVDおよびその他の真空製造プロセスにおける不良品を低減します。オリジナルOEM互換コンポーネントとして、LAMフルシリーズプロセスツールに対して優れた互換性と長期信頼性を備えています。

主要仕様:

高感度CCD/PMT検出器を搭載し、優れたスペクトル分解能と低ノイズを実現します。UV-可視波長範囲をカバーし、多様な半導体プロセス監視ニーズに対応します。
標準SMAファイバーインターフェースは長距離信号伝送をサポートします。真空対応プローブは高真空・高温・プラズマ環境下でも安定して動作します。
リアルタイムスペクトル解析により、精密なエッチングエンドポイント判定、薄膜厚さおよび光学特性測定が可能となり、過エッチングおよび不足エッチングを効果的に回避します。
内蔵EthernetおよびRS-232通信ポートを備え、シームレスなデータ相互作用とシステム連携のためにLAM機器プロトコルと完全互換です。
コンパクトで堅牢な構造で、耐振動・耐干渉性能を備えています。24時間365日の連続運転をサポートし、現場での容易な交換が可能です。

代表的な用途:

プラズマエッチングシステム、CVD、PVDおよびALD薄膜堆積装置
ウエハエッチングプロセスのエンドポイント検出
インサイチュ薄膜厚さおよび反射率測定
真空プロセスチャンバーにおけるリアルタイムプラズマ状態解析
LAM Research 2300、9400、ExALおよびその他の主要プロセスプラットフォーム

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどうなっていますか？
A:新品の正規品です。1年間保証付きです。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypalに対応しています。

Q3: 製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分ありますか？
A:標準モデルは在庫があり、支払い後3〜5営業日以内に発送されます。希少モデルはメーカーへの発注が必要となるため、納期についてはカスタマーサービスまでお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSに対応しています。発送後に追跡番号とリンクを提供します。全プロセスを当社チームがモニタリングします。

Q5:梱包と安全性