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新品 Lam Research SM930LP1NCS202 マスフローコントローラー

高精度、安定した性能

産業オートメーションに適しています

在庫あり & 世界中への迅速配送

商品番号:
SM930LP1NCS202
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明:

LAM Researchの光ファイバ分光計は、半導体ウェーハ処理装置に統合された高精度な光学モニタリングデバイスです。主にプロフェッショナルな光学モジュールと組み合わせて使用され、ファイバ伝送設計を採用し、プロセスチャンバー内のプラズマ発光、反射および透過スペクトルを取得します。エッチングのエンドポイント検出、薄膜計測、リアルタイムのプラズマ状態監視に広く使用されており、エッチング、CVD、PVDなどの各種真空製造プロセスにおいて安定したプロセス性能を確保し、生産歩留まりを向上させ、不良品を削減します。純正OEM互換コンポーネントとして、LAMの全シリーズプロセスツールに対して優れた互換性と長期信頼性を備えています。

主要仕様:

高感度CCD/PMT検出器を搭載し、優れたスペクトル分解能と低ノイズ性能を提供します。UV-可視波長範囲をカバーし、多様な半導体プロセスモニタリング要求に対応します。
標準SMAファイバインターフェースにより長距離信号伝送をサポートします。真空対応プローブは高真空・高温・プラズマ環境下でも安定して動作します。
リアルタイムスペクトル解析により、エッチングのエンドポイント判定、薄膜厚さおよび光学特性の測定を高精度に行い、過剰エッチングおよび不足エッチングを効果的に防止します。
内蔵EthernetおよびRS-232通信ポートを備え、LAM装置プロトコルと完全互換でシームレスなデータ連携とシステム統合を実現します。
コンパクトで堅牢な構造により、耐振動・耐干渉性能を備えています。24/7の連続稼働をサポートし、現場での容易な交換が可能です。

主な用途:

プラズマエッチング装置、CVD、PVDおよびALD薄膜成膜装置
ウェーハエッチングプロセスにおけるエンドポイント検出
インサイチュ薄膜厚さおよび反射率測定
真空プロセスチャンバー内のリアルタイムプラズマ状態解析
LAM Research 2300、9400、ExALおよびその他の主要プロセスプラットフォーム

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどうなっていますか？
A:新品の純正品です。1年間の保証が付属します。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypal対応可能です。

Q3: 製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫あり、支払い後3〜5営業日以内に発送されます。希少モデルはメーカー取り寄せとなるため、納期はカスタマーサービスまでお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。発送後に追跡番号とリンクが提供されます。全プロセスを当社チームが監視します。

Q5:梱包と安全性