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新品 Lam Research E36W-L14 マスフローコントローラー

新品 Lam Research E36W-L14 マスフローコントローラー

新品 Lam Research E36W-L14 マスフローコントローラー

高精度、安定した性能

産業用自動化に適しています

在庫あり&世界中へ迅速配送

  • 商品番号:

    E36W-L14
  • 注文(MOQ):

    1
  • 支払い:

    100% T/T
  • 製品の起源:

    USA
  • 色:

    As Model
  • 出荷港:

    Xiamen
  • リードタイム:

    2-3 days
  • 製品詳細

説明:

LAM Researchの光ファイバ分光計は、半導体ウェーハ処理装置に統合された高精度な光学モニタリングデバイスです。主にプロフェッショナルな光学モジュールと組み合わせて使用され、光ファイバ伝送設計を採用し、プロセスチャンバー内のプラズマ発光、反射および透過スペクトルを取得します。エッチングのエンドポイント検出、薄膜計測、およびリアルタイムのプラズマ状態監視に広く使用され、これらのユニットは安定したプロセス性能を確保し、生産歩留まりを向上させ、エッチング、CVD、PVDおよびその他の真空製造プロセスにおける不良品を削減します。純正OEM互換コンポーネントとして、LAM全シリーズプロセスツールに対して優れた互換性と長期信頼性を備えています。
 
 
 
主な仕様:
  1. 高感度CCD/PMT検出器を搭載し、優れたスペクトル分解能と低ノイズを実現します。UV-可視波長範囲をカバーし、多様な半導体プロセス監視ニーズに対応します。
  2. 標準SMAファイバインターフェースは長距離信号伝送をサポートします。真空対応プローブは高真空・高温・プラズマ環境下でも安定して動作します。
  3. リアルタイムスペクトル解析により、正確なエッチングエンドポイント判定、薄膜厚さおよび光学特性の測定が可能となり、過剰エッチングや不足エッチングを効果的に防止します。
  4. 内蔵EthernetおよびRS-232通信ポートを備え、LAM装置プロトコルと完全互換でシームレスなデータ連携およびシステム統合を実現します。
  5. コンパクトで堅牢な構造を持ち、耐振動・耐干渉性能を備えています。24時間365日の連続稼働をサポートし、現場での簡単な交換が可能です。
 

 

主な用途:

  1. プラズマエッチングシステム、CVD、PVDおよびALD薄膜堆積装置
  2. ウェーハエッチングプロセスのエンドポイント検出
  3. インサイチュ薄膜厚さおよび反射率測定
  4. 真空プロセスチャンバーのリアルタイムプラズマ状態解析
  5. LAM Research 2300、9400、ExALおよびその他の主要プロセスプラットフォーム

 

 

よくある質問:

Q1:製品の状態と保証はどうなっていますか?
A:新品の純正品です。1年間の保証付きです。

Q2:支払い条件は何ですか?
A:T/T、PayPal対応。

Q3: 製品の納期はどのくらいですか?在庫は十分にありますか?
A:標準モデルは在庫があり、支払い後3~5営業日で出荷されます。希少モデルはメーカー発注が必要となるため、納期についてはカスタマーサービスまでお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。出荷後に追跡番号とリンクを提供します。全プロセスを当社チームが監視します。

Q5:梱包と安全性

 

A:純正ブランド梱包に加え、強化保護(フォーム、密封カートン、精密機器用木箱)を施しています。防湿・耐衝撃仕様です。

 

 

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