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新品 Lam Research 98008SA10F3P2 マスフローコントローラ

高精度で安定した性能

産業オートメーションに適しています

在庫あり＆世界中への迅速な配送

商品番号:
98008SA10F3P2
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明:

LAM ResearchのMFCは、半導体製造におけるミッションクリティカルなコンポーネントであり、LAMのエッチング、アッシング、成膜システムにおいてガス流量を極めて高精度に制御するよう設計されています。5nm–7nmノードの製造における厳しい要求に対応するために構築されており、これらのコントローラーは安定したガス供給を維持し、ウェーハの均一性、歩留まり、プロセス安定性に直接影響を与えます。フッ素系エッチングガス、不活性キャリアガス、あるいは反応性成膜ガスのいずれに対しても、LAM MFCは24/7のクリーンルーム環境で信頼性が高く再現性のある性能を提供します。

主な仕様:

LAM Research OEMマスフローコントローラ（MFC）
±1% FS精度、ナノスケールプロセス向け±0.1%の再現性
レンジ: 10 sccm–10 slm；NF₃、HBr、O₂、N₂、Arに対応
インターフェース: アナログ（0–5V/4–20mA）、DeviceNet、EtherCAT
接ガス部材質 316L SS/PTFE；1/4" VCRフィッティング

代表的な用途:

半導体エッチング: 誘電体、導体、シリコンエッチングプロセス（2300 Versys、TCP9600）
成膜（CVD/PVD）: 先端ノード向け薄膜成膜
プラズマ処理: アッシング、ストリッピング、表面処理
ウェーハ製造: 200mm/300mmファブ、5nm–7nmプロセス

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか？
A:新品の正規品です。1年間の保証が付いています。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、PayPalに対応しています。

Q3: 製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分ありますか？
A:標準モデルは在庫があり、支払い後3〜5営業日で発送されます。希少モデルはメーカー取り寄せが必要です—納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。追跡番号とリンクは発送後に提供されます。全工程は当社チームによって監視されます。

Q5:梱包と安全性