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新品 Lam Research 98008SA10F3P1 マスフローコントローラ

新品 Lam Research 98008SA10F3P1 マスフローコントローラ

新品 Lam Research 98008SA10F3P1 マスフローコントローラ

高精度、安定した性能

産業自動化に適しています

在庫あり&世界中へ迅速配送

  • 商品番号:

    98008SA10F3P1
  • 注文(MOQ):

    1
  • 支払い:

    100% T/T
  • 製品の起源:

    USA
  • 色:

    As Model
  • 出荷港:

    Xiamen
  • リードタイム:

    2-3 days
  • 製品詳細

説明:

LAM ResearchのMFCは、半導体製造におけるミッションクリティカルなコンポーネントであり、LAMのエッチング、アッシング、および成膜システムにおいてガス流量を極めて高い精度で制御するよう設計されています。5nm~7nmノードの製造で求められる厳格な要件を満たすよう構築されており、安定したガス供給を維持することで、ウェーハ均一性、歩留まり、およびプロセス安定性に直接影響を与えます。フッ素系エッチングガス、希ガスキャリアガス、反応性成膜ガスのいずれにも対応し、24時間365日のクリーンルーム環境で信頼性の高い再現性のある性能を提供します。
 
 
主な仕様:
  1. LAM Research純正マスフローコントローラ(MFC)
  2. ±1% FS精度、ナノスケールプロセス向け±0.1%再現性
  3. レンジ:10 sccm–10 slm;NF₃、HBr、O₂、N₂、Ar対応
  4. インターフェース:アナログ (0–5V/4–20mA)、DeviceNet、EtherCAT
  5. 接ガス部材:316L SS/PTFE;1/4" VCR継手
 

 

代表的な用途:

  1. 半導体エッチング:誘電体、導体、およびシリコンのエッチングプロセス(2300 Versys、TCP9600)
  2. 成膜(CVD/PVD):先端ノード向け薄膜成膜
  3. プラズマ処理:アッシング、ストリッピング、および表面処理
  4. ウェーハ製造:200mm/300mmファブ、5nm–7nmプロセス

 

 

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか?
A:新品の正規品です。1年間の保証が含まれます。

Q2:支払い条件は何ですか?
A:T/T、Paypal対応。

Q3:製品の納期はどのくらいですか?在庫は十分にありますか?
A:標準モデルは在庫あり、支払い後3–5営業日で発送。希少モデルはメーカー発注が必要です—納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPS利用可能。発送後に追跡番号+リンクを提供。全工程を当社チームが監視。

Q5:梱包と安全性

 

A:純正ブランド包装に強化保護(フォーム、密封カートン、精密機器用木箱)。防湿・耐衝撃対応。

 

 

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