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新品 Lam Research 98008SA6F3P3 マスフローコントローラ

高精度で安定した性能

産業オートメーションに適しています

在庫あり & 世界中へ迅速配送

商品番号:
98008SA6F3P3
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明:

LAM ResearchのMFCは、半導体製造におけるミッションクリティカルなコンポーネントであり、LAMのエッチング、アッシング、成膜システムにおいてガス流量を極めて高い精度で制御するよう設計されています。5nm～7nmノードの製造に求められる厳しい要件を満たすよう構築されており、安定したガス供給を維持することで、ウェハ均一性、歩留まり、プロセス安定性に直接影響を与えます。フッ素系エッチングガス、不活性キャリアガス、反応性成膜ガスのいずれにおいても、LAMのMFCは24時間365日のクリーンルーム環境で信頼性が高く再現性のある性能を提供します。

主な仕様:

LAM Research OEMマスフローコントローラ（MFC）
±1% FS精度、ナノスケールプロセス向け±0.1%再現性
レンジ: 10 sccm～10 slm；NF₃、HBr、O₂、N₂、Arに対応
インターフェース: アナログ（0–5V/4–20mA）、DeviceNet、EtherCAT
接液部材質 316L SS/PTFE；1/4" VCR継手

代表的な用途:

半導体エッチング: 誘電体、導体、シリコンのエッチングプロセス（2300 Versys、TCP9600)
成膜（CVD/PVD）：先端ノード向け薄膜成膜
プラズマ処理：アッシング、ストリッピング、表面処理
ウェハ製造：200mm/300mmファブ、5nm～7nmプロセス

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどうなっていますか？
A:新品の正規品です。1年間の保証が含まれます。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypalに対応しています。

Q3:製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫があり、入金確認後3～5営業日で発送されます。希少モデルはメーカー発注が必要です—納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。発送後に追跡番号とリンクが提供されます。全工程を当社チームがモニタリングします。

Q5:梱包と安全性