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新品 Lam Research 810-810193-313 PCBコントロールボード

高精度、安定した性能

産業用オートメーションに適しています

在庫あり & 世界中へ迅速配送

商品番号:
810-810193-313
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明:

LAM ResearchのPCB制御ボードは、Lamの半導体エッチングおよび薄膜プロセス装置向けに特別に設計された純正OEMのコアプリント回路アセンブリです。装置の中枢制御バックボーンとして、これらのボードは高速信号処理、リアルタイム論理制御、高精度I/Oデータ取得、電力分配、システム間通信を実行します。厳格な半導体クリーンルーム基準および多層高密度PCB技術で製造されており、優れた耐EMI性能、耐振動性能、低アウトガス性能を備え、真空プラズマ環境における安定した長期動作を実現し、ウェーハプロセス精度とファブ生産歩留まりを効果的に保証します。

主な仕様:

全シリーズは、メインCPUノードボード、VIOP I/Oボード、温度取得ボード、電源ドライバーボード、通信ジャンクションボード、センサーインターフェースボードを網羅し、Lamプロセス装置のすべての制御サブシステムに完全対応しています。
高品質な多層PCBレイアウトにインピーダンス制御を施し、優れたノイズ抑制、低信号減衰、高伝送速度を実現。プロセスチャンバー内の高周波RF信号および微弱センサー信号処理に最適化されています。
車載グレードの電子部品を採用し、動作温度範囲は-40°C〜+85°C。厳格なESD保護設計により、強いプラズマ干渉、高温環境、24時間365日の連続ファブ運転下でも安定した性能を発揮します。
VMEバス、Ethernet、RS232/485およびLam独自の通信プロトコルをサポートし、Lamホストコントローラー、MFCガスモジュール、エンドポイント分光計、サーボドライブユニットとシームレスなプラグアンドプレイ接続が可能です。
過電圧、過電流、短絡、過熱保護回路を内蔵し、リアルタイム障害コード読み取りおよび迅速なトラブルシューティングのためのデバッグポートを備え、装置のダウンタイムを削減します。

主な用途:

Lamの主力エッチング装置：2300 Flex、Kiyoシリーズ、ExALエッチシステム
プラズマエッチング、PVD/CVD薄膜堆積、ウェーハ真空プロセス装置
チャンバー温度、圧力、ガス流量、RF電力、ウェーハ搬送のリアルタイム制御
エンドポイント検出システム、F&G安全インターロックおよび装置ホストデータ連携

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどうなっていますか？
A:新品の純正品です。1年間の保証が含まれます。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、PayPalに対応しています。

Q3: 製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分ですか？
A:標準モデルは在庫あり、支払い後3〜5営業日で発送されます。希少モデルはメーカー発注が必要なため、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。発送後に追跡番号とリンクが提供されます。全プロセスを当社がモニタリングします。

Q5:梱包と安全性