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新品 Lam Research 810-810193-103 PCBコントロールボード

高精度、安定したパフォーマンス

産業用オートメーションに適しています

在庫あり & 世界中へ迅速配送

商品番号:
810-810193-103
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明：

LAM ResearchのPCB制御ボードは、Lamの半導体エッチングおよび薄膜プロセス装置向けに特別に設計された純正OEMのコアプリント回路アセンブリです。装置の中枢制御バックボーンとして、これらのボードは高速信号処理、リアルタイム論理制御、精密なI/Oデータ取得、電力分配およびシステム間通信を実行します。厳格な半導体クリーンルーム基準および多層高密度PCB技術で製造されており、優れた耐EMI性、耐振動性、低アウトガス性能を備え、真空プラズマ環境下での安定した長期稼働を維持し、ウェハプロセス精度とファブ生産歩留まりを効果的に保証します。

主な仕様：

全シリーズは、メインCPUノードボード、VIOP I/Oボード、温度取得ボード、電源ドライバボード、通信ジャンクションボード、センサーインターフェースボードをカバーし、Lamプロセス装置のすべての制御サブシステムに完全に対応しています。
高品質な多層PCBレイアウトにインピーダンス制御を施し、優れたノイズ抑制、低信号減衰、高伝送速度を実現し、プロセスチャンバー内の高周波RF信号および微弱センサー信号処理に完全に適応しています。
車載グレードの電子部品を採用し、動作温度範囲は-40°C～+85°C、厳格なESD保護設計を備え、強いプラズマ干渉、高温環境および24時間365日のファブ連続稼働下でも安定した性能を発揮します。
VMEバス、Ethernet、RS232/485およびLam独自の専用通信プロトコルをサポートし、Lamホストコントローラ、MFCガスモジュール、エンドポイント分光計、サーボドライブユニットとのシームレスなプラグアンドプレイ接続を実現します。
過電圧、過電流、短絡、過熱保護回路を内蔵し、リアルタイム障害コード読み取りおよび迅速なトラブルシューティングのためのデバッグポートを確保し、装置ダウンタイムを削減します。

典型的な用途：

Lamの主流エッチング装置：2300 Flex、Kiyoシリーズ、ExALエッチングシステム
プラズマエッチング、PVD/CVD薄膜成膜、ウェハ真空プロセス装置
チャンバー温度、圧力、ガス流量、RF電力およびウェハ搬送のリアルタイム制御
エンドポイント検出システム、F&G安全インターロックおよび装置ホストデータ連携

FAQ：

Q1: 製品の状態と保証はどのようになっていますか？
A: 新品の純正品です。1年間の保証が付属します。

Q2: 支払い条件は何ですか？
A: T/T、Paypal対応です。

Q3: 製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分ですか？
A: 標準モデルは在庫あり、支払い確認後3～5営業日で発送します。希少モデルはメーカー発注となるため、納期はカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4: 配送と追跡
A: DHL/FedEx/UPSが利用可能です。発送後に追跡番号とリンクを提供します。全プロセスを当社チームが監視します。

Q5: 梱包と安全性