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新品 Lam Research 810-810193-003 PCBコントロールボード

高精度・安定した性能

産業オートメーションに適しています

在庫あり & 世界中へ迅速配送

商品番号:
810-810193-003
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明：

LAM ResearchのPCB制御ボードは、Lamの半導体エッチングおよび薄膜プロセス装置向けに特別に設計された純正OEMのコアプリント回路アセンブリです。ツールの中枢制御バックボーンとして、これらのボードは高速信号処理、リアルタイムロジック制御、精密なI/Oデータ取得、電力分配およびシステム間通信を実行します。厳格な半導体クリーンルーム基準および多層高密度PCB技術で製造されており、優れた耐EMI、耐振動および低アウトガス性能を提供し、真空プラズマ環境における安定した長期動作を維持し、ウェハプロセス精度とファブ生産歩留まりを効果的に保証します。

主な仕様：

フルシリーズは、メインCPUノードボード、VIOP I/Oボード、温度取得ボード、電源ドライバーボード、通信ジャンクションボードおよびセンサーインターフェースボードを網羅し、Lamプロセス装置のすべての制御サブシステムに完全に対応します。
高品位マルチレイヤPCBレイアウトでインピーダンス制御を備え、優れたノイズ抑制、低信号減衰および高速伝送を実現し、プロセスチャンバー内の高周波RF信号および微弱センサー信号処理に最適化されています。
産業グレードの車載電子部品を採用し、動作温度範囲は-40°C～+85°C、厳格なESD保護設計を備え、強いプラズマ干渉、高温および24/7の連続ファブ稼働下でも安定した性能を発揮します。
VMEバス、Ethernet、RS232/485およびLam独自の専用通信プロトコルをサポートし、Lamホストコントローラ、MFCガスモジュール、エンドポイント分光計およびサーボ駆動ユニットとシームレスなプラグアンドプレイ接続を実現します。
過電圧、過電流、短絡および過温度保護回路を内蔵し、リアルタイム故障コード読み取りおよび迅速なトラブルシューティングのためのデバッグポートを確保し、装置のダウンタイムを削減します。

代表的な用途：

Lamの主流エッチング装置：2300 Flex、Kiyoシリーズ、ExALエッチングシステム
プラズマエッチング、PVD/CVD薄膜成膜、ウェハ真空プロセス装置
チャンバー温度、圧力、ガス流量、RFパワーおよびウェハ搬送のリアルタイム制御
エンドポイント検出システム、F&G安全インターロックおよび装置ホストデータインタラクション

FAQ：

Q1:製品の状態と保証はどうなっていますか？
A:新品の純正品です。1年間の保証が付属します。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、PayPalに対応しています。

Q3:製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分ですか？
A:標準モデルは在庫あり、支払い確認後3～5営業日で発送します。希少モデルはメーカー発注が必要となるため、納期はカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSに対応しています。発送後に追跡番号とリンクを提供します。全プロセスを当社チームが監視します。

Q5:梱包と安全性