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新品 Lam Research 810-272395-001 ESC 静電チャック

高精度、安定したパフォーマンス

産業用自動化に適しています

在庫あり & 世界中へ迅速配送

商品番号:
810-272395-001
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明：

Lam Research静電チャック（ESC）は、半導体真空プロセス装置における重要なコンポーネントです。静電気力を利用してプロセスチャンバー内でウェーハを確実にクランプし、エッチング、成膜およびその他の製造工程中の安定した位置決めを保証します。高品質な材料と精密な構造で設計されており、均一なクランプ力、優れた熱伝導性、そして高い耐久性を実現します。高真空、高温、プラズマ環境下でも安定して動作し、一貫したプロセス性能と高い生産歩留まりの維持に貢献します。純正OEMユニットのため、Lam Researchのウェーハ処理装置との完全な互換性を保証します。

主な仕様：

均一で安定した静電保持力を提供し、動作中のウェーハのずれを防止します。
最適化された熱伝導設計により、ウェーハ温度を効果的に制御し、均一なプロセス結果を実現します。
高真空、広い温度範囲、プラズマ雰囲気に対応可能で、24時間365日の長期連続運転に適しています。
厳密な製造公差により優れた表面平坦度を保証し、先端半導体プロセスの要求を満たします。
Lam Researchのエッチング装置および成膜システムと完全互換で、簡単に取り付け・交換が可能なためダウンタイムを削減できます。

代表的な用途：

Lam Researchプラズマエッチング装置
CVD、PVDおよびALD薄膜成膜装置
200mm / 300mmウェーハ真空プロセスチャンバー
半導体製造ラインおよび装置メンテナンス

FAQ：

Q1:製品の状態と保証はどうなっていますか？
A:新品の純正品です。1年間の保証が付属します。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypal対応可能です。

Q3: 製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫があり、支払い確認後3〜5営業日以内に発送されます。希少モデルはメーカー取り寄せとなるため、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。発送後に追跡番号とリンクを提供します。全工程を当社チームが監視します。

Q5:梱包と安全性