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新品 Lam Research 853-291525-001 ESC 静電チャック

高精度で安定した性能

産業オートメーションに適しています

在庫あり＆世界中へ迅速配送

商品番号:
853-291525-001
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明：

Lam Research Electrostatic Chuck (ESC)は、半導体真空プロセス装置の重要な構成部品です。静電力を利用してプロセスチャンバー内でウェハーを確実にクランプし、エッチング、成膜およびその他の製造工程中の安定した位置決めを実現します。高品質な材料と精密な構造で設計されており、均一なクランプ力、優れた熱伝導性、そして高い耐久性を提供します。高真空・高温・プラズマ環境下でも安定して動作し、一貫したプロセス性能と高い生産歩留まりの維持に貢献します。純正OEMユニットであり、Lam Researchのウェハー処理ツールとの完全な互換性を保証します。

主な仕様：

均一で安定した静電保持力を提供し、ウェハーを確実に固定して、動作中の位置ずれを防ぎます。
最適化された熱伝導設計により、ウェハーの効率的な温度制御を実現し、均一なプロセス結果を得られます。
高真空、広い温度範囲、プラズマ雰囲気に対応し、長期間の24時間365日の連続稼働に適しています。
厳格な製造公差により優れた表面平坦性を保証し、先端半導体プロセスの要求を満たします。
Lam Researchのエッチング装置および成膜装置と完全互換で、ダウンタイム削減のために容易に設置・交換が可能です。

代表的な用途：

Lam Research プラズマエッチングシステム
CVD、PVD、およびALD薄膜成膜装置
200mm / 300mm ウェハー真空プロセスチャンバー
半導体製造ラインおよび装置メンテナンス

FAQ：

Q1：製品の状態と保証はどのようになっていますか？
A：新品の純正品です。1年間の保証が付属します。

Q2：支払い条件は何ですか？
A：T/T、Paypalに対応しています。

Q3：製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A：標準モデルは在庫があり、支払い確認後3～5営業日以内に発送されます。希少モデルはメーカー発注が必要となるため、納期についてはカスタマーサービスまでお問い合わせください。

Q4：配送と追跡
A：DHL/FedEx/UPSが利用可能です。発送後に追跡番号とリンクを提供します。当社チームが全プロセスを監視します。

Q5：梱包と安全性