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新品 Lam Research 719-101612-887 ESC 静電チャック

高精度、安定した性能

産業オートメーションに適しています

在庫あり＆世界中へ迅速配送

商品番号:
719-101612-887
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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新製品

製品詳細

説明:

Lam Research Electrostatic Chuck (ESC)は、半導体真空プロセス装置の重要なコンポーネントです。静電力を利用してプロセスチャンバー内でウェーハを確実に固定し、エッチング、成膜およびその他の製造工程において安定した位置決めを実現します。高品質素材と精密構造で設計されており、均一なクランプ力、優れた熱伝導性、そして高い耐久性を提供します。高真空、高温、プラズマ環境下でも安定して動作し、一貫したプロセス性能と高い生産歩留まりの維持に貢献します。純正OEMユニットであり、Lam Researchのウェーハ処理ツールとの完全な互換性を保証します。

主な仕様:

均一で安定した静電保持力を提供し、動作中のウェーハのずれを防ぎ、確実に固定します。
最適化された熱伝導設計により、ウェーハ温度を効果的に制御し、均一なプロセス結果を実現します。
高真空、広い温度範囲、プラズマ雰囲気に対応し、長期間の24時間365日の連続運転に適しています。
厳格な製造公差により優れた表面平坦度を保証し、先端半導体プロセスの要求を満たします。
Lam Researchのエッチング装置および成膜システムと完全互換で、簡単に取り付け・交換ができ、ダウンタイムを削減します。

主な用途:

Lam Research プラズマエッチングシステム
CVD、PVDおよびALD薄膜成膜装置
200mm / 300mm ウェーハ真空プロセスチャンバー
半導体製造ラインおよび装置メンテナンス

よくある質問:

Q1:製品の状態と保証について教えてください。
A:新品の純正品です。1年間の保証が付属します。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypalに対応しています。

Q3: 製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫があり、支払い確認後3〜5営業日以内に発送されます。希少モデルはメーカー発注が必要なため、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送・追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。発送後に追跡番号とリンクを提供します。全プロセスを当社チームが監視します。

Q5:梱包・安全性