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新品 Lam Research 810-073479-205 PCB制御ボード

高精度、安定した性能

産業用オートメーションに適しています

在庫あり & 世界中へ迅速配送

商品番号:
810-073479-205
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明：

LAM Research PCB制御ボードは、Lamの半導体エッチングおよび薄膜プロセス装置向けに特別に設計された純正OEMのコアプリント回路アセンブリです。装置の中央制御バックボーンとして、これらのボードは高速信号処理、リアルタイム論理制御、精密I/Oデータ収集、電力分配およびシステム間通信を実行します。厳格な半導体クリーンルーム基準および多層高密度PCB技術で製造されており、優れた耐EMI、耐振動、低アウトガス性能を実現し、真空プラズマ環境下での安定した長期運用を維持し、ウェハプロセス精度およびファブ生産歩留まりを効果的に保証します。

主な仕様：

フルシリーズは、メインCPUノードボード、VIOP I/Oボード、温度取得ボード、パワードライバーボード、通信ジャンクションボードおよびセンサーインターフェースボードをカバーし、Lamプロセス装置のすべての制御サブシステムに完全に対応しています。
高グレードの多層PCBレイアウトでインピーダンス制御を備え、優れたノイズ抑制、低信号減衰、高伝送速度を実現し、プロセスチャンバー内の高周波RF信号および微弱センサー信号処理に最適です。
産業グレードの車載電子部品を採用し、動作温度範囲は-40°C〜+85°C、厳格なESD保護設計を備え、強いプラズマ干渉下でも安定した性能を発揮し、高温および24時間365日のファブ連続稼働に対応します。
VMEバス、Ethernet、RS232/485およびLam独自の専用通信プロトコルをサポートし、Lamホストコントローラ、MFCガスモジュール、エンドポイントスペクトロメータ、サーボドライブユニットとシームレスにプラグアンドプレイ接続できます。
内蔵の過電圧、過電流、短絡および過温度保護回路を搭載し、リアルタイムの障害コード読み取りおよび迅速なトラブルシューティングのためのデバッグポートを確保し、装置のダウンタイムを低減します。

代表的な用途：

Lam主流エッチング装置：2300 Flex、Kiyoシリーズ、ExALエッチングシステム
プラズマエッチング、PVD/CVD薄膜成膜、ウェハ真空処理装置
チャンバー温度、圧力、ガス流量、RF電力およびウェハ搬送のリアルタイム制御
エンドポイント検出システム、F&G安全インターロックおよび装置ホストデータ連携

FAQ：

Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか？
A:新品の純正品です。1年間の保証が含まれています。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypal対応です。

Q3:製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫があり、支払い後3〜5営業日以内に発送されます。希少モデルはメーカー発注が必要となるため、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPS利用可能。発送後に追跡番号とリンクを提供します。弊社チームによる全プロセス監視を行います。

Q5:梱包と安全性