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新品 Lam Research 810-073479-003 PCB制御ボード

高精度、安定した性能

産業用オートメーションに適しています

在庫あり & 世界中への迅速配送

商品番号:
810-073479-003
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明:

LAM ResearchのPCB制御ボードは、Lamの半導体エッチングおよび薄膜プロセス装置向けに特別設計された純正OEMのコアプリント回路アセンブリです。装置の中枢制御バックボーンとして、これらのボードは高速信号処理、リアルタイム論理制御、高精度I/Oデータ取得、電力分配、およびシステム間通信を実行します。厳格な半導体クリーンルーム基準および多層高密度PCB技術で製造されており、優れた耐EMI性、耐振動性、低アウトガス性能を備え、真空プラズマ環境下での安定した長期動作を維持し、ウェーハプロセス精度とファブ生産歩留まりを効果的に保証します。

主な仕様:

全シリーズは、メインCPUノードボード、VIOP I/Oボード、温度取得ボード、電源ドライバボード、通信ジャンクションボード、センサーインターフェースボードを網羅し、Lamプロセス装置のすべての制御サブシステムに完全対応しています。
高品質な多層PCBレイアウトによりインピーダンス制御を実現し、優れたノイズ抑制、低信号減衰、高伝送速度を備え、プロセスチャンバー内の高周波RF信号および微弱センサー信号処理に最適に適合しています。
車載グレードの産業用電子部品を採用し、動作温度範囲は-40°C〜+85°C、厳格なESD保護設計により、強いプラズマ干渉下でも安定した性能を発揮し、高温かつ24時間365日のファブ運用に対応します。
VMEバス、Ethernet、RS232/485およびLam独自の専用通信プロトコルをサポートし、Lamホストコントローラ、MFCガスモジュール、エンドポイント分光計、サーボドライブユニットとシームレスなプラグアンドプレイ接続が可能です。
過電圧、過電流、短絡、および過熱保護回路を内蔵し、リアルタイムの障害コード読み取りおよび迅速なトラブルシューティングのためのデバッグポートを確保しており、装置のダウンタイムを削減します。

代表的な用途:

Lamの主力エッチング装置: 2300 Flex、Kiyoシリーズ、ExALエッチングシステム
プラズマエッチング、PVD/CVD薄膜成膜、ウェーハ真空プロセス装置
チャンバー温度、圧力、ガス流量、RF電力、ウェーハ搬送のリアルタイム制御
エンドポイント検出システム、F&G安全インターロック、および装置ホストデータ連携

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか？
A:新品の純正品です。1年間の保証が付属します。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypalに対応しています。

Q3:製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫があり、支払い確認後3〜5営業日で出荷します。希少モデルはメーカー取り寄せとなるため、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。出荷後に追跡番号とリンクを提供します。全プロセスを当社チームがモニタリングします。

Q5:梱包と安全性