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新品 Lam Research 810-073479-002 PCB制御ボード

高精度、安定した性能

産業用オートメーションに適しています

在庫あり＆世界中へ迅速配送

商品番号:
810-073479-002
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明:

LAM Research PCB制御ボードは、Lamの半導体エッチングおよび薄膜プロセス装置向けに特別に設計された純正OEMコアプリント基板アセンブリです。装置の中枢制御バックボーンとして、これらのボードは高速信号処理、リアルタイム論理制御、精密なI/Oデータ取得、電力分配、システム間通信を実行します。厳格な半導体クリーンルーム基準および多層高密度PCB技術で製造されており、優れた耐EMI性、耐振動性、低アウトガス性能を備え、真空プラズマ環境下での安定した長期稼働を維持し、ウェーハプロセス精度とファブ生産歩留まりを効果的に保証します。

主要仕様:

全シリーズは、メインCPUノードボード、VIOP I/Oボード、温度取得ボード、電源ドライバボード、通信ジャンクションボード、センサーインターフェースボードを網羅し、Lamプロセス装置のすべての制御サブシステムに完全対応しています。
インピーダンス制御を備えた高グレード多層PCBレイアウトにより、優れたノイズ抑制、低信号減衰、高速伝送を実現し、プロセスチャンバー内の高周波RF信号および微弱センサー信号処理に最適に適合します。
産業グレードの車載電子部品、-40°C〜+85°Cの広い動作温度範囲、厳格なESD保護設計、強いプラズマ干渉下でも安定した性能、高温および24時間365日のファブ連続稼働に対応。
VME bus、Ethernet、RS232/485およびLam独自の専用通信プロトコルをサポートし、Lamホストコントローラ、MFCガスモジュール、エンドポイント分光器、サーボドライブユニットとのシームレスなプラグアンドプレイ接続を実現します。
過電圧、過電流、短絡、過熱保護回路を内蔵し、リアルタイム故障コード読み取りおよび迅速なトラブルシューティングのためのデバッグポートを確保し、装置ダウンタイムを削減します。

代表的な用途:

Lamの主流エッチング装置：2300 Flex、Kiyo series、ExAL etch systems
プラズマエッチング、PVD/CVD薄膜成膜、ウェーハ真空プロセス装置
チャンバー温度、圧力、ガス流量、RF電力およびウェーハ搬送のリアルタイム制御
エンドポイント検出システム、F&G安全インターロックおよび装置ホストデータ連携

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどうなっていますか？
A:新品の純正品です。1年間の保証が付属します。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypalに対応しています。

Q3: 製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分ありますか？
A:標準モデルは在庫あり、支払い後3〜5営業日で発送します。希少モデルはメーカー取り寄せとなるため、納期はカスタマーサービスまでお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSに対応。発送後に追跡番号とリンクを提供します。全プロセスを当社チームが監視します。

Q5:梱包と安全性