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新品 Lam Research 810-028298-015 PCB制御ボード

高精度、安定した性能

産業自動化に適しています

在庫あり＆世界中へ迅速配送

商品番号:
810-028298-015
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明:

LAM Research PCB control boardsは、Lam semiconductorのエッチングおよび薄膜プロセス装置向けに特別設計されたOEM純正のコアプリント基板アセンブリです。装置の中央制御バックボーンとして、これらのボードは高速信号処理、リアルタイム論理制御、精密I/Oデータ取得、電源分配およびシステム間通信を実行します。厳格な半導体クリーンルーム基準と多層高密度PCB技術で製造されており、優れた耐EMI、耐振動性および低アウトガス性能を提供し、真空プラズマ環境下での安定した長期稼働を維持し、ウェーハプロセス精度とファブ生産歩留まりを効果的に保証します。

主な仕様:

フルシリーズは、メインCPUノードボード、VIOP I/Oボード、温度取得ボード、電源ドライバボード、通信ジャンクションボードおよびセンサーインターフェースボードを網羅し、Lamプロセス装置のすべての制御サブシステムに完全に対応しています。
高品質の多層PCBレイアウトでインピーダンス制御、優れたノイズ抑制、低信号減衰および高伝送速度を備え、プロセスチャンバー内の高周波RF信号および微弱センサー信号処理に最適に適合しています。
産業グレードの車載電子部品を採用し、動作温度範囲は-40°C ~ +85°C、厳格なESD保護設計により、強いプラズマ干渉下でも安定した性能を発揮し、24時間365日のファブ連続稼働においても高い信頼性を維持します。
VME bus、Ethernet、RS232/485およびLam独自の専用通信プロトコルをサポートし、Lamホストコントローラ、MFCガスモジュール、エンドポイント分光計およびサーボドライブユニットとのシームレスなプラグアンドプレイ接続を実現します。
過電圧、過電流、短絡および過熱保護回路を内蔵し、リアルタイムの故障コード読み取りおよび迅速なトラブルシューティングのためのデバッグポートを確保し、装置のダウンタイムを削減します。

代表的な用途:

Lam主流エッチング装置: 2300 Flex、Kiyoシリーズ、ExALエッチシステム
プラズマエッチング、PVD/CVD薄膜成膜、ウェーハ真空プロセス装置
チャンバー温度、圧力、ガス流量、RF電力およびウェーハ搬送のリアルタイム制御
エンドポイント検出システム、F&G安全インターロックおよび装置ホストデータ連携

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか？
A:新品の純正品です。1年間の保証が付いています。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypal対応。

Q3: 製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫があり、支払い後3–5営業日以内に発送されます。希少モデルはメーカー発注が必要となるため、納期についてはカスタマーサービスまでお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。発送後に追跡番号とリンクが提供されます。全工程を当社チームが監視します。

Q5:梱包と安全性