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新品 Lam Research 810-028298-008 PCB コントロールボード

高精度、安定した性能

産業用オートメーションに適しています

在庫あり & 世界中へ迅速配送

商品番号:
810-028298-008
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明：

LAM ResearchのPCB制御ボードは、Lamの半導体エッチングおよび薄膜プロセス装置向けに特別に設計された純正OEMのコアプリント回路アセンブリです。装置の中核制御バックボーンとして、これらのボードは高速信号処理、リアルタイム論理制御、精密なI/Oデータ収集、電源分配、システム間通信を実行します。厳格な半導体クリーンルーム基準および多層高密度PCB技術で製造されており、優れた耐EMI性、耐振動性、低アウトガス性能を提供し、真空プラズマ環境下での安定した長期稼働を維持し、ウェーハプロセス精度とファブ生産歩留まりを効果的に保証します。

主な仕様：

フルシリーズは、メインCPUノードボード、VIOP I/Oボード、温度収集ボード、電力ドライバーボード、通信ジャンクションボード、センサーインターフェースボードを網羅し、Lamプロセス装置のすべての制御サブシステムに完全に対応しています。
高品質な多層PCBレイアウトによりインピーダンス制御を実現し、優れたノイズ抑制、低信号減衰、高伝送速度を備え、プロセスチャンバー内の高周波RF信号および微弱センサー信号処理に最適に適合しています。
車載グレードの電子部品を使用し、動作温度範囲は-40°C〜+85°C、厳格なESD保護設計を備え、強いプラズマ干渉下でも安定した性能を発揮し、高温および24時間365日のファブ連続稼働に対応します。
VMEバス、Ethernet、RS232/485、およびLam独自の専用通信プロトコルをサポートし、Lamホストコントローラ、MFCガスモジュール、エンドポイント分光計、サーボドライブユニットとシームレスにプラグアンドプレイ接続が可能です。
過電圧、過電流、短絡、過熱保護回路を内蔵し、リアルタイム障害コード読み取りおよび迅速なトラブルシューティングのためのデバッグポートを確保することで、装置のダウンタイムを削減します。

代表的な用途：

Lamの主流エッチング装置：2300 Flex、Kiyoシリーズ、ExALエッチングシステム
プラズマエッチング、PVD/CVD薄膜成膜、ウェーハ真空プロセス装置
チャンバー温度、圧力、ガス流量、RF電力、ウェーハ搬送のリアルタイム制御
エンドポイント検出システム、F&G安全インターロック、装置ホストデータ連携

よくある質問：

Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか？
A:新品の純正品です。1年間の保証が付属します。

Q2:お支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypalに対応しています。

Q3: 製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分ですか？
A:標準モデルは在庫があり、入金確認後3〜5営業日で発送します。希少モデルはメーカー発注が必要ですので、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。発送後に追跡番号とリンクを提供し、全プロセスを当社が監視します。

Q5:梱包と安全性