説明:
LAM ResearchのPCB制御ボードは、Lamの半導体エッチングおよび薄膜プロセス装置向けに特別設計された純正OEMのコアプリント基板アセンブリです。装置の中央制御バックボーンとして、これらのボードは高速信号処理、リアルタイム論理制御、高精度I/Oデータ取得、電力分配、およびシステム間通信を実行します。厳格な半導体クリーンルーム基準および多層高密度PCB技術で製造され、真空プラズマ環境下での安定した長期動作を維持するために優れた耐EMI、耐振動、低アウトガス性能を提供し、ウェーハプロセス精度とファブ生産歩留まりを効果的に保証します。
主要仕様:
- 全シリーズはメインCPUノードボード、VIOP I/Oボード、温度取得ボード、パワードライバーボード、通信ジャンクションボード、センサーインターフェースボードをカバーし、Lamプロセス装置のすべての制御サブシステムに完全対応しています。
- 高品質多層PCBレイアウトでインピーダンス制御を備え、優れたノイズ抑制、低信号減衰、高速伝送を実現し、プロセスチャンバー内の高周波RF信号および微弱センサー信号処理に最適に適合します。
- 産業グレードの車載電子部品を採用し、動作温度範囲は-40°C〜+85°C、厳格なESD保護設計を備え、強いプラズマ干渉、高温、24時間365日のファブ連続稼働下でも安定した性能を発揮します。
- VMEバス、Ethernet、RS232/485および専用のLam独自通信プロトコルをサポートし、Lamホストコントローラ、MFCガスモジュール、エンドポイント分光計、サーボドライブユニットとシームレスなプラグアンドプレイ接続を実現します。
- 過電圧、過電流、短絡、過熱保護回路を内蔵し、リアルタイム障害コード読み取りおよび迅速なトラブルシューティングのためのデバッグポートを確保し、装置ダウンタイムを低減します。
代表的な用途:
- Lamの主流エッチング装置: 2300 Flex、Kiyoシリーズ、ExALエッチングシステム
- プラズマエッチング、PVD/CVD薄膜成膜、ウェーハ真空プロセス装置
- チャンバー温度、圧力、ガス流量、RF電力、ウェーハ搬送のリアルタイム制御
- エンドポイント検出システム、F&G安全インターロック、および装置ホストデータインターフェース
FAQ:
Q1:製品の状態と保証はどうなっていますか?
A:新品の純正品です。1年間の保証が付属します。
Q2:支払い条件は何ですか?
A:T/T、PayPal対応。
Q3: 製品の納期はどのくらいですか?在庫は十分ありますか?
A:標準モデルは在庫あり、支払い後3〜5営業日で発送します。希少モデルはメーカー発注が必要です—納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。
Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPS利用可能。追跡番号とリンクは発送後に提供されます。全工程を当社チームが監視します。
Q5:梱包と安全性
A:純正ブランド梱包に強化保護(フォーム、密封カートン、精密機器用木箱)を施しています。防湿・耐衝撃仕様です。