説明:
LAM Research PCB制御ボードはオリジナルOEMのコアプリント基板アセンブリであり、Lam半導体エッチングおよび薄膜プロセス装置向けに特別設計されています。ツールの中央制御バックボーンとして、これらのボードは高速信号処理、リアルタイム論理制御、精密I/Oデータ取得、電力分配、システム間通信を実行します。半導体クリーンルームの厳格な基準および多層高密度PCB技術で製造され、優れた耐EMI、耐振動、低アウトガス性能を提供し、真空プラズマ環境における安定した長期動作を維持し、ウェーハプロセス精度とファブ生産歩留まりを効果的に保証します。
主要仕様:
- 全シリーズはメインCPUノードボード、VIOP I/Oボード、温度取得ボード、電源ドライバーボード、通信ジャンクションボード、センサーインターフェースボードを網羅し、Lamプロセス装置の全制御サブシステムに完全対応します。
- 高グレード多層PCBレイアウトでインピーダンス制御を備え、優れたノイズ抑制、低信号減衰、高伝送速度を実現し、プロセスチャンバー内の高周波RF信号および微弱センサー信号処理に最適化されています。
- 産業グレード車載電子部品、動作温度範囲-40°C〜+85°C、厳格なESD保護設計、強いプラズマ干渉下でも安定性能、高温および24/7ファブ連続稼働に対応。
- VMEバス、Ethernet、RS232/485およびLam独自の専用通信プロトコルをサポートし、Lamホストコントローラ、MFCガスモジュール、エンドポイント分光計、サーボドライブユニットとシームレスなプラグアンドプレイ接続を実現します。
- 過電圧、過電流、短絡、過温度保護回路を内蔵し、リアルタイム故障コード読み取りと迅速なトラブルシューティングのためのデバッグポートを確保し、装置ダウンタイムを削減します。
代表的な用途:
- Lam主流エッチング装置:2300 Flex、Kiyoシリーズ、ExALエッチシステム
- プラズマエッチング、PVD/CVD薄膜堆積、ウェーハ真空プロセス装置
- チャンバー温度、圧力、ガス流量、RFパワーおよびウェーハ搬送のリアルタイム制御
- エンドポイント検出システム、F&G安全インターロックおよび装置ホストデータ連携
FAQ:
Q1:製品の状態と保証はどうなっていますか?
A:新品の純正品です。1年間保証付き。
Q2:支払い条件は何ですか?
A:T/T、Paypal対応。
Q3:製品の納期はどのくらいですか?在庫は十分ありますか?
A:標準モデルは在庫あり、支払い後3〜5営業日で発送します。希少モデルはメーカー発注が必要です—納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。
Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPS利用可能。発送後に追跡番号とリンクを提供します。当社チームによる全工程モニタリング。
Q5:梱包と安全性
A:オリジナルブランド梱包に強化保護(フォーム、密封カートン、精密機器用木箱)を施しています。防湿・耐衝撃対応。