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新品 Lam Research 810-028298-008 PCB制御ボード

高精度、安定した性能

産業用オートメーションに適しています

在庫あり＆世界中へ迅速配送

商品番号:
810-028298-008
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明:

LAM ResearchのPCB制御ボードは、Lamの半導体エッチングおよび薄膜プロセス装置向けに特別に設計された純正OEMのコアプリント回路アセンブリです。装置の中枢制御バックボーンとして、これらのボードは高速信号処理、リアルタイム論理制御、高精度I/Oデータ取得、電力分配、およびシステム間通信を実行します。厳格な半導体クリーンルーム基準および多層高密度PCB技術により製造されており、優れた耐EMI性、耐振動性、低アウトガス性能を備え、真空プラズマ環境下での安定した長期稼働を実現し、ウェハプロセス精度およびファブ生産歩留まりを効果的に保証します。

主な仕様:

フルシリーズは、メインCPUノードボード、VIOP I/Oボード、温度取得ボード、電力ドライバーボード、通信ジャンクションボード、センサーインターフェースボードをカバーし、Lamプロセス装置のすべての制御サブシステムに完全に適合します。
高品位な多層PCBレイアウトでインピーダンス制御が施されており、優れたノイズ抑制、低信号減衰、高伝送速度を実現し、プロセスチャンバー内の高周波RF信号および微弱センサー信号処理に完全に適応しています。
産業グレードの自動車電子部品を採用し、動作温度範囲は-40°C ~ +85°C、厳格なESD保護設計により、強いプラズマ干渉下でも安定した性能を維持し、高温および24時間365日のファブ運用に対応します。
VMEバス、Ethernet、RS232/485、およびLam独自の通信プロトコルをサポートし、Lamホストコントローラ、MFCガスモジュール、エンドポイント分光計、サーボドライブユニットとのシームレスなプラグアンドプレイ接続を実現します。
過電圧、過電流、短絡、過熱保護回路を内蔵し、リアルタイムの障害コード読み取りおよび迅速なトラブルシューティングのためのデバッグポートを確保し、装置のダウンタイムを削減します。

主な用途:

Lamの主流エッチング装置：2300 Flex、Kiyoシリーズ、ExALエッチシステム
プラズマエッチング、PVD/CVD薄膜成膜、ウェハ真空プロセス装置
チャンバー温度、圧力、ガス流量、RF電力、およびウェハ搬送のリアルタイム制御
エンドポイント検出システム、F&G安全インターロックおよび装置ホストデータ連携

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか？
A:新品の正規品です。1年間の保証が付属します。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypal対応。

Q3:製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫あり、支払い後3〜5営業日以内に発送されます。希少モデルはメーカー発注が必要なため、納期はカスタマーサービスにお問い合わせください。

配送・追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。追跡番号とリンクは出荷後に提供されます。全工程を当社チームがモニタリングします。

梱包・安全性