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新品 Lam Research 810-028295-172 PCB制御ボード

高精度で安定した性能

産業用自動化に適しています

在庫あり＆世界中へ迅速配送

商品番号:
810-028295-172
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明:

LAM Research PCB制御ボードは、Lam半導体エッチングおよび薄膜プロセス装置向けに特別に設計されたオリジナルOEMコアプリント回路アセンブリです。ツールの中央制御バックボーンとして、これらのボードは高速信号処理、リアルタイム論理制御、精密なI/Oデータ取得、電源分配およびシステム間通信を実行します。厳格な半導体クリーンルーム基準および多層高密度PCB技術で製造されており、優れた耐EMI性、耐振動性、低アウトガス性能を提供し、真空プラズマ環境下での安定した長期動作を維持します。これにより、ウェーハプロセス精度とファブ生産歩留まりを効果的に保証します。

主要仕様:

フルシリーズは、メインCPUノードボード、VIOP I/Oボード、温度取得ボード、電源ドライバボード、通信ジャンクションボード、センサーインターフェースボードを網羅しており、Lamプロセス装置のすべての制御サブシステムに完全対応しています。
高品質な多層PCBレイアウトにインピーダンス制御を施し、優れたノイズ抑制、低信号減衰、高伝送速度を実現し、プロセスチャンバー内の高周波RF信号および微弱センサー信号処理に最適化されています。
産業グレードの自動車電子部品を採用し、動作温度範囲は-40°C〜+85°C、厳格なESD保護設計により、強いプラズマ干渉下でも安定した性能を発揮し、高温および24時間365日のファブ連続稼働に対応します。
VME bus、Ethernet、RS232/485およびLam独自の専用通信プロトコルをサポートし、Lamホストコントローラ、MFCガスモジュール、エンドポイント分光計、サーボドライブユニットとシームレスにプラグアンドプレイ接続できます。
過電圧、過電流、短絡、過熱保護回路を内蔵し、リアルタイムの障害コード読み取りおよび迅速なトラブルシューティングのためのデバッグポートを確保しており、装置のダウンタイムを削減します。

主な用途:

Lamの主力エッチング装置：2300 Flex、Kiyoシリーズ、ExALエッチシステム
プラズマエッチング、PVD/CVD薄膜成膜、ウェーハ真空プロセス装置
チャンバー温度、圧力、ガス流量、RFパワーおよびウェーハ搬送のリアルタイム制御
エンドポイント検出システム、F&G安全インターロックおよび装置ホストデータ連携

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどうなっていますか？
A:新品の正規品です。1年間の保証が付属します。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypal対応です。

Q3:製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分ありますか？
A:標準モデルは在庫があり、支払い後3〜5営業日で発送されます。希少モデルはメーカー発注が必要なため、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送・追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。発送後に追跡番号とリンクを提供し、全プロセスを当社チームが監視します。

Q5:梱包・安全性