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新品 Lam Research 810-028296-171 PCB制御ボード

高精度、安定した性能

産業用オートメーションに適しています

在庫あり & 世界中へ迅速配送

商品番号:
810-028296-171
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明:

LAM Research PCB制御ボードは、Lam半導体エッチングおよび薄膜プロセス装置向けに特別設計されたオリジナルOEMコアプリント回路アセンブリです。ツールの中枢制御バックボーンとして、これらのボードは高速信号処理、リアルタイム論理制御、精密I/Oデータ取得、電力分配およびシステム間通信を実行します。厳格な半導体クリーンルーム基準および多層高密度PCB技術で製造されており、優れた耐EMI、耐振動、低アウトガス性能を提供し、真空プラズマ環境下での安定した長期動作を維持し、ウェハプロセス精度およびファブ生産歩留まりを効果的に保証します。

主要仕様:

本シリーズはメインCPUノードボード、VIOP I/Oボード、温度取得ボード、電力ドライバーボード、通信ジャンクションボードおよびセンサーインターフェースボードを網羅し、Lamプロセス装置のすべての制御サブシステムに完全対応しています。
高品位マルチレイヤPCBレイアウトによりインピーダンス制御を実現し、優れたノイズ抑制、低信号減衰および高速伝送を備え、高周波RF信号およびプロセスチャンバー内の微弱センサー信号処理に最適化されています。
車載グレードの産業用電子部品を採用し、-40°C～+85°Cの広い動作温度範囲、厳格なESD保護設計、強いプラズマ干渉下でも安定した性能を発揮し、高温および24/7のファブ連続稼働に対応します。
VMEバス、Ethernet、RS232/485およびLam独自の専用通信プロトコルをサポートし、Lamホストコントローラ、MFCガスモジュール、エンドポイント分光計およびサーボドライブユニットとのシームレスなプラグアンドプレイ接続を実現します。
過電圧、過電流、短絡および過温度保護回路を内蔵し、リアルタイム障害コード読み取りおよび迅速なトラブルシューティングのためのデバッグポートを確保することで、装置のダウンタイムを削減します。

代表的な用途:

Lamの主流エッチング装置: 2300 Flex、Kiyo series、ExAL etch systems
プラズマエッチング、PVD/CVD薄膜堆積、ウェハ真空プロセス装置
チャンバー温度、圧力、ガス流量、RFパワーおよびウェハ搬送のリアルタイム制御
エンドポイント検出システム、F&G安全インターロックおよび装置ホストデータ連携

FAQ:

Q1: 製品の状態と保証はどうなっていますか？
A:新品の純正品です。1年間の保証が付属します。

Q2: 支払い条件は何ですか？
A:T/T、Paypal対応。

Q3: 製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分ですか？
A:標準モデルは在庫があり、支払い後3〜5営業日で発送します。希少モデルはメーカー発注が必要で、納期はカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4: 配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPS利用可能。発送後に追跡番号とリンクを提供します。全工程を当社チームがモニタリングします。

Q5: 梱包と安全性