説明:
LAM Research PCB制御ボードは、Lamの半導体エッチングおよび薄膜プロセス装置向けに特別に設計された純正OEMのコアプリント回路アセンブリです。装置の中枢制御バックボーンとして、これらのボードは高速信号処理、リアルタイム論理制御、精密I/Oデータ取得、電力分配、およびシステム間通信を実行します。厳格な半導体クリーンルーム基準および多層高密度PCB技術で製造されており、優れた耐EMI性能、耐振動性能および低アウトガス性能を提供し、真空プラズマ環境下での安定した長期運用を維持します。これにより、ウェーハプロセス精度およびファブ生産歩留まりを効果的に保証します。
主な仕様:
- 全シリーズは、メインCPUノードボード、VIOP I/Oボード、温度取得ボード、電源ドライバーボード、通信ジャンクションボード、およびセンサーインターフェースボードをカバーし、Lamプロセス装置のすべての制御サブシステムに完全対応しています。
- 高品質な多層PCBレイアウトによりインピーダンス制御を実現し、優れたノイズ抑制、低信号減衰、高伝送速度を備え、プロセスチャンバー内の高周波RF信号および微弱センサー信号処理に完全に適合します。
- 産業グレードの自動車用電子部品を採用し、動作温度範囲は-40°C ~ +85°C、厳格なESD保護設計により、強いプラズマ干渉、高温環境および24/7連続ファブ稼働下でも安定した性能を発揮します。
- VMEバス、Ethernet、RS232/485および専用のLam独自通信プロトコルをサポートし、Lamホストコントローラー、MFCガスモジュール、エンドポイント分光計、およびサーボドライブユニットとのシームレスなプラグアンドプレイ接続を実現します。
- 過電圧、過電流、短絡および過熱保護回路を内蔵し、リアルタイム障害コード読み取りおよび迅速なトラブルシューティングのためのデバッグポートを確保することで、装置のダウンタイムを削減します。
代表的な用途:
- Lamの主力エッチング装置:2300 Flex、Kiyoシリーズ、ExALエッチシステム
- プラズマエッチング、PVD/CVD薄膜成膜、ウェーハ真空プロセス装置
- チャンバー温度、圧力、ガス流量、RFパワーおよびウェーハ搬送のリアルタイム制御
- エンドポイント検出システム、F&G安全インターロックおよび装置ホストデータ連携
FAQ:
Q1:製品の状態と保証はどうなっていますか?
A:新品の純正品です。1年間の保証が付属します。
Q2:支払い条件は何ですか?
A:T/T、Paypalに対応しています。
Q3: 製品の納期はどのくらいですか?在庫は十分にありますか?
A:標準モデルは在庫あり、支払い後3〜5営業日で出荷されます。希少モデルはメーカー発注が必要なため、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。
Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。出荷後に追跡番号とリンクを提供します。全プロセスを当社チームが監視します。
Q5:梱包と安全性
A:純正ブランド梱包に強化保護(フォーム、密封カートン、精密機器用の木製クレート)を施しています。防湿・耐衝撃対応です。