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新品 Lam Research 810-002895-201 PCBコントロールボード

高精度、安定した性能

産業オートメーションに適しています

在庫あり & 世界中へ迅速配送

商品番号:
810-002895-201
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明:

LAM Research PCB制御ボードは、Lamの半導体エッチングおよび薄膜プロセス装置向けに特別設計されたオリジナルOEMのコアプリント回路アセンブリです。装置の中枢制御バックボーンとして、これらのボードは高速信号処理、リアルタイム論理制御、高精度I/Oデータ収集、電力分配、およびシステム間通信を実行します。厳格な半導体クリーンルーム基準と多層高密度PCB技術で製造されており、優れた耐EMI性、耐振動性、低アウトガス性能を提供し、真空プラズマ環境下での安定した長期稼働を維持し、ウェーハプロセス精度とファブ生産歩留まりを効果的に保証します。

主な仕様:

フルシリーズは、メインCPUノードボード、VIOP I/Oボード、温度取得ボード、パワードライバーボード、通信ジャンクションボード、センサーインターフェースボードをカバーし、Lamプロセス装置のすべての制御サブシステムに完全対応しています。
インピーダンス制御を備えた高グレード多層PCBレイアウトにより、優れたノイズ抑制、低信号減衰、高伝送速度を実現し、プロセスチャンバー内の高周波RF信号および微弱センサー信号処理に完全に適応しています。
産業グレードの車載用電子部品を採用し、動作温度範囲は-40°C～+85°C、厳格なESD保護設計により、強いプラズマ干渉下でも安定した性能を発揮し、高温環境および24時間365日のファブ連続稼働に対応します。
VMEバス、Ethernet、RS232/485および専用のLam独自通信プロトコルをサポートし、Lamホストコントローラ、MFCガスモジュール、エンドポイント分光計、サーボドライブユニットとシームレスなプラグアンドプレイ接続を実現します。
過電圧、過電流、短絡、過熱保護回路を内蔵し、リアルタイムの故障コード読み取りと迅速なトラブルシューティングのためのデバッグポートを確保することで、装置ダウンタイムを削減します。

代表的な用途:

Lamの主流エッチング装置: 2300 Flex、Kiyoシリーズ、ExAL etchシステム
プラズマエッチング、PVD/CVD薄膜成膜、ウェーハ真空プロセス装置
チャンバー温度、圧力、ガス流量、RFパワー、およびウェーハ搬送のリアルタイム制御
エンドポイント検出システム、F&G安全インターロック、および装置ホストとのデータ連携

よくある質問:

Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか？
A:新品の純正品です。1年間の保証が付いています。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T、PayPal対応。

Q3:製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫あり、支払い後3–5営業日以内に発送されます。希少モデルはメーカー発注が必要です—納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPS利用可能。発送後に追跡番号＋リンクを提供します。全工程を当社チームがモニタリングします。

Q5:梱包と安全性