説明:
LAM Research PCB制御ボードは、Lamの半導体エッチングおよび薄膜プロセス装置向けに特別に設計されたオリジナルOEMのコアプリント回路アセンブリです。装置の中核制御バックボーンとして、これらのボードは高速信号処理、リアルタイム論理制御、精密I/Oデータ取得、電源分配、およびシステム間通信を実行します。厳格な半導体クリーンルーム基準および多層高密度PCB技術で製造されており、優れた耐EMI、耐振動、低アウトガス性能を提供し、真空プラズマ環境下での安定した長期動作を維持し、ウェーハプロセス精度とファブ生産歩留まりを効果的に保証します。
主な仕様:
- 全シリーズはメインCPUノードボード、VIOP I/Oボード、温度取得ボード、電源ドライバーボード、通信ジャンクションボード、センサーインターフェースボードをカバーし、Lamプロセス装置のすべての制御サブシステムに完全対応しています。
- 高グレードの多層PCBレイアウトでインピーダンス制御、優れたノイズ抑制、低信号減衰および高速伝送を実現し、プロセスチャンバー内の高周波RF信号および微弱センサー信号処理に完全に適合します。
- 産業グレードの自動車用電子部品を採用し、広い動作温度範囲 -40°C ~ +85°C、厳格なESD保護設計を備え、強いプラズマ干渉、高温および連続24/7ファブ運用下でも安定した性能を発揮します。
- VMEバス、Ethernet、RS232/485およびLam独自の専用通信プロトコルをサポートし、Lamホストコントローラ、MFCガスモジュール、エンドポイント分光計、サーボドライブユニットとのシームレスなプラグアンドプレイ接続を実現します。
- 過電圧、過電流、短絡、過温度保護回路を内蔵し、リアルタイム障害コード読み取りおよび迅速なトラブルシューティングのためのデバッグポートを確保し、装置のダウンタイムを削減します。
典型的な用途:
- Lamの主力エッチング装置: 2300 Flex、Kiyoシリーズ、ExALエッチシステム
- プラズマエッチング、PVD/CVD薄膜成膜、ウェーハ真空プロセス装置
- チャンバー温度、圧力、ガス流量、RF電力およびウェーハ搬送のリアルタイム制御
- エンドポイント検出システム、F&G安全インターロックおよび装置ホストデータ連携
よくある質問:
Q1:製品の状態と保証はどのようなものですか?
A:新品の純正品です。1年間の保証付きです。
Q2:支払い条件は何ですか?
A:T/T、Paypal対応です。
Q3: 製品の納期はどのくらいですか?在庫は十分にありますか?
A:標準モデルは在庫あり、入金後3–5営業日で発送します。希少モデルはメーカー発注が必要です—納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。
Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPS利用可能。発送後に追跡番号+リンクを提供します。全プロセスを当社チームがモニタリングします。
Q5:梱包と安全性
A:オリジナルブランド包装に強化保護(フォーム、密封カートン、精密機器用木製クレート)を施しています。防湿・耐衝撃対応です。