説明:
LAM ResearchのPCB制御ボードは、Lamの半導体エッチングおよび薄膜プロセス装置向けに特別に設計された純正OEMのコアプリント回路アセンブリです。本装置の中央制御バックボーンとして、これらのボードは高速信号処理、リアルタイム論理制御、精密なI/Oデータ取得、電力分配、およびシステム間通信を実行します。厳格な半導体クリーンルーム基準および多層高密度PCB技術で製造されており、優れた耐EMI性能、耐振動性および低アウトガス性能を実現し、真空プラズマ環境下での長期安定動作を維持し、ウェハプロセス精度とファブ生産歩留まりを効果的に保証します。
主な仕様:
- フルシリーズは、メインCPUノードボード、VIOP I/Oボード、温度取得ボード、電源ドライバーボード、通信ジャンクションボードおよびセンサーインターフェースボードを網羅しており、Lamプロセス装置のすべての制御サブシステムに完全対応しています。
- 高品質の多層PCBレイアウトでインピーダンス制御を備え、優れたノイズ抑制、低信号減衰および高速伝送を実現し、プロセスチャンバー内の高周波RF信号および微弱センサー信号処理に最適に適合します。
- 産業グレードの車載電子部品を採用し、動作温度範囲は-40°C〜+85°C、厳格なESD保護設計を備え、強いプラズマ干渉下でも安定した性能を発揮し、高温および24時間365日のファブ稼働に対応します。
- VMEバス、Ethernet、RS232/485および専用のLam独自通信プロトコルをサポートし、Lamホストコントローラ、MFCガスモジュール、エンドポイント分光計およびサーボドライブユニットとシームレスなプラグアンドプレイ接続を実現します。
- 内蔵の過電圧、過電流、短絡および過温度保護回路を搭載し、リアルタイムの障害コード読み取りと迅速なトラブルシューティングのためのデバッグポートを確保し、装置ダウンタイムを低減します。
典型的な用途:
- Lamの主流エッチング装置: 2300 Flex、Kiyoシリーズ、ExALエッチングシステム
- プラズマエッチング、PVD/CVD薄膜堆積、ウェハ真空プロセス装置
- チャンバー温度、圧力、ガス流量、RF電力およびウェハ搬送のリアルタイム制御
- エンドポイント検出システム、F&G安全インターロックおよび装置ホストデータ連携
よくある質問:
Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか?
A:新品の純正品です。1年間の保証が含まれています。
Q2:支払い条件は何ですか?
A:T/T、Paypalに対応しています。
Q3: 製品の納期はどのくらいですか?在庫は十分ありますか?
A:標準モデルは在庫ありで、支払い後3〜5営業日で出荷します。希少モデルはメーカー発注が必要なため、納期はカスタマーサービスにお問い合わせください。
Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。追跡番号とリンクは出荷後に提供されます。全工程を当社チームが監視します。
Q5:梱包と安全性
A:純正ブランド梱包に加え、強化保護(フォーム、密封カートン、精密機器用木箱)を施しています。防湿・耐衝撃仕様です。