説明:
LAM ResearchのPCB制御ボードは、Lamの半導体エッチングおよび薄膜プロセス装置向けに特別に設計された純正OEMのコアプリント基板アセンブリです。装置の中枢制御基盤として、これらのボードは高速信号処理、リアルタイム論理制御、精密なI/Oデータ取得、電力分配、およびシステム間通信を実行します。厳格な半導体クリーンルーム基準および多層高密度PCB技術で製造されており、優れたEMI耐性、耐振動性、低アウトガス性能を実現し、真空プラズマ環境下での長期安定稼働を維持し、ウェーハプロセス精度とファブ生産歩留まりを効果的に保証します。
主要仕様:
- 全シリーズはメインCPUノードボード、VIOP I/Oボード、温度取得ボード、電源ドライバボード、通信ジャンクションボード、センサーインターフェースボードをカバーし、Lamプロセス装置のすべての制御サブシステムに完全に対応します。
- インピーダンス制御を備えた高グレード多層PCBレイアウトにより、優れたノイズ抑制、低信号減衰および高速伝送を実現し、プロセスチャンバー内の高周波RF信号および微弱センサー信号処理に最適に適合します。
- 産業グレードの車載用電子部品を採用し、動作温度範囲は-40°C〜+85°C、厳格なESD保護設計により、強いプラズマ干渉、高温、24時間365日のファブ連続稼働下でも安定した性能を発揮します。
- VMEバス、Ethernet、RS232/485およびLam独自の専用通信プロトコルをサポートし、Lamホストコントローラ、MFCガスモジュール、エンドポイント分光計、およびサーボドライブユニットとシームレスなプラグアンドプレイ接続を実現します。
- 過電圧、過電流、短絡、過熱保護回路を内蔵し、リアルタイムの故障コード読み取りと迅速なトラブルシューティングのためのデバッグポートを確保し、装置のダウンタイムを削減します。
代表的な用途:
- Lamの主流エッチング装置:2300 Flex、Kiyoシリーズ、ExALエッチングシステム
- プラズマエッチング、PVD/CVD薄膜成膜、ウェーハ真空プロセス装置
- チャンバー温度、圧力、ガス流量、RF電力およびウェーハ搬送のリアルタイム制御
- エンドポイント検出システム、F&G安全インターロックおよび装置ホストデータ連携
FAQ:
Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか?
A:新品の純正品です。1年間の保証が含まれています。
Q2:お支払い条件は何ですか?
A:T/T、Paypalに対応しています。
Q3: 製品の納期はどのくらいですか?在庫は十分にありますか?
A:標準モデルは在庫があり、お支払い後3〜5営業日で出荷されます。希少モデルはメーカー発注が必要となるため、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。
Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSに対応しています。出荷後に追跡番号とリンクを提供します。全プロセスを当社チームが監視します。
Q5:梱包と安全性
A:オリジナルブランド包装に強化保護(フォーム、密封カートン、精密機器用木箱)を施しています。防湿・耐衝撃仕様です。