説明:
LAM ResearchのPCB制御ボードは、Lamの半導体エッチングおよび薄膜プロセス装置向けに特別設計された純正OEMコアプリント回路アセンブリです。本装置の中核制御バックボーンとして、これらのボードは高速信号処理、リアルタイム論理制御、高精度I/Oデータ取得、電源分配およびシステム間通信を実行します。厳格な半導体クリーンルーム基準および多層高密度PCB技術で製造されており、優れた耐EMI・耐振動・低アウトガス性能を実現し、真空プラズマ環境下での安定した長期稼働を維持し、ウェハプロセス精度とファブ生産歩留まりを効果的に保証します。
主な仕様:
- 全シリーズは、メインCPUノードボード、VIOP I/Oボード、温度取得ボード、電源ドライバボード、通信ジャンクションボード、センサーインターフェースボードを網羅し、Lamプロセス装置のすべての制御サブシステムに完全対応しています。
- インピーダンス制御を備えた高品位多層PCBレイアウトにより、優れたノイズ抑制、低信号減衰、高伝送速度を実現し、プロセスチャンバー内の高周波RF信号および微弱センサー信号処理に完全に適合しています。
- 車載グレードの産業用電子部品、動作温度範囲 -40°C~+85°C、厳格なESD保護設計、強いプラズマ干渉下でも安定した性能、高温および24/7連続ファブ稼働に対応。
- VMEバス、Ethernet、RS232/485およびLam独自の専用通信プロトコルをサポートし、Lamホストコントローラ、MFCガスモジュール、エンドポイント分光計およびサーボドライブユニットとシームレスなプラグアンドプレイ接続を実現します。
- 過電圧、過電流、短絡、過温度保護回路を内蔵;リアルタイム故障コード読み取りおよび迅速なトラブルシューティングのためのデバッグポートを備え、装置ダウンタイムを削減します。
代表的な用途:
- Lamの主流エッチング装置:2300 Flex、Kiyoシリーズ、ExAL etch systems
- プラズマエッチング、PVD/CVD薄膜堆積、ウェハ真空プロセス装置
- チャンバー温度、圧力、ガス流量、RFパワーおよびウェハ搬送のリアルタイム制御
- エンドポイント検出システム、F&G安全インターロックおよび装置ホストデータ連携
FAQ:
Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか?
A:新品の正規品です。1年保証付きです。
Q2:支払い条件は何ですか?
A:T/T、Paypal対応です。
Q3:製品の納期はどのくらいですか?在庫は十分にありますか?
A:標準モデルは在庫ありで、支払い後3~5営業日以内に発送されます。希少モデルはメーカー発注が必要です—納期についてはカスタマーサービスまでお問い合わせください。
Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPS対応。発送後に追跡番号+リンクを提供します。当チームによる全工程モニタリング付きです。
Q5:梱包と安全性
A:純正ブランド梱包に強化保護(フォーム、密封カートン、精密機器用木箱)。防湿・耐衝撃仕様です。