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家安川

新品 Yaskawa XU-RC350D-C51 デュアルアーム真空ウェーハロボット

高精度、安定した性能

産業オートメーションに適しています

在庫あり & 世界中への迅速配送

商品番号:
XU-RC350D-C51
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
Japan
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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新製品

製品詳細

説明:

日本製のYaskawaクラシック4軸デュアルアーム高真空ウェーハロボット。エッチング、成膜（デポジション）、イオン注入装置の真空チャンバー内での8/12インチウェーハ搬送用に設計されています。磁性流体真空シールを採用し、超低パーティクル生成、ミクロンレベルの高精度繰り返し位置決めを実現。軽量カーボンファイバー製エンドエフェクタと組み合わせています。整備・テスト済み在庫品で、完全なテストレポート付き。世界向けDAP配送および専門的なアフターサポートを提供します。

主な仕様:

デュアル独立伸縮アームにより、ウェーハのピック＆プレースを交互に行い、ウェーハサイクルタイムを効果的に短縮し、ファブの生産能力を向上させます。
特殊な磁性流体シャフトシール構造により、低アウトガス性を実現し、高真空環境下での長期安定動作を可能にし、厳格な半導体真空プロセス基準を満たします。
カーボンファイバー製ウェーハフォーク＋滑らかなS字カーブのサーボモーション制御により、±0.05mmの繰り返し位置決め精度を実現し、ウェーハの傷やダスト汚染リスクを大幅に低減します。
装置全体にアウトガス抑制材料を使用し、内部の防塵最適化を実施。薄膜、エッチング、インプラント工程向けの半導体クリーンルーム基準に完全準拠しています。
XU-RC350D-K01の整備・テスト済みロボット在庫あり。3か月保証付き。操作マニュアル、配線図、リモートトラブルシューティングサービスを提供。複数の国際配送オプションに対応し、関税および現地ICMS税は購入者負担です。

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどうなっていますか？
A:新品の純正品です。1年保証付きです。

Q2:お支払い条件は何ですか？
A:T/T、PayPalに対応しています。

Q3:製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫があり、支払い確認後3〜5営業日以内に発送されます。希少モデルはメーカー発注が必要なため、納期についてはカスタマーサービスまでお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。追跡番号とリンクは発送後に提供されます。全プロセスを当社チームがモニタリングします。

Q5:梱包と安全性