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家安川

新品 Yaskawa XU-RC350D-1B06 デュアルアーム真空ウェーハロボット

高精度で安定した性能

産業オートメーションに適しています

在庫あり・世界中へ迅速配送

商品番号:
XU-RC350D-1B06
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
Japan
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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新製品

製品詳細

説明:

日本製のYaskawaクラシック4軸デュアルアーム高真空ウェハロボットで、エッチング、成膜、イオン注入装置の真空チャンバー内での8/12インチウェハ搬送用に設計されています。磁性流体真空シーリングを採用し、超低パーティクル発生、ミクロンレベルの繰り返し位置決め精度を実現し、軽量カーボンファイバー製エンドエフェクタと組み合わせています。整備・テスト済みユニットを在庫として保有し、完全なテストレポート、グローバルDAP配送および専門的なアフターセールス技術サポートを提供可能です。

主な仕様:

独立したデュアル伸縮アームにより、ウェハのピック＆プレースを交互に行い、ウェハサイクルタイムを効果的に短縮し、ファブの生産能力を向上させます。
特殊な磁性流体シャフトシール構造を採用し、低アウトガス特性を持ち、高真空環境下での長期安定運転が可能で、厳格な半導体真空プロセス基準を満たします。
カーボンファイバー製ウェハフォーク＋滑らかなSカーブサーボモーション制御により、繰り返し位置決め精度±0.05mmを実現し、ウェハ傷および粉塵汚染リスクを大幅に低減します。
装置全体にアウトガス抑制材料を使用し、内部の防塵最適化を実施、薄膜、エッチング、イオン注入プロセス向けの半導体クリーンルーム基準に完全準拠しています。
XU-RC350D-K01の整備・テスト済みロボットを在庫として保有、3ヶ月保証付き。操作マニュアル、配線図およびリモートトラブルシューティングサービスを提供します。複数のグローバル配送オプションに対応し、関税および現地ICMS税は購入者負担となります。

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどうなっていますか？
A:新品の純正品です。1年保証が含まれます。

Q2:支払い条件は何ですか？
A:T/T, Paypal対応しています。

Q3:製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫あり、支払い後3〜5営業日以内に発送されます。希少モデルはメーカー発注が必要となるため、納期についてはカスタマーサービスまでお問い合わせください。

Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPS利用可能です。発送後に追跡番号とリンクを提供します。全工程を当社チームがモニタリングします。

Q5:梱包と安全性