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新品 MKS MW-5502-01 RFマッチャー

高精度、安定した性能

産業オートメーションに適しています

在庫あり & 世界中へ迅速配送

商品番号:
MW-5502-01
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明:

MKS RFマッチャー（RFマッチングボックス／ネットワークとも呼ばれる）は、半導体および産業用プラズマシステム向けに設計された高性能自動インピーダンス整合デバイスです。RFジェネレーターの50Ω出力インピーダンスを、プラズマチャンバー、エッチャー、PECVD、スパッタリング装置などの可変インピーダンスに動的に整合させ、反射電力を最小化し電力伝送効率を最大化します。高速チューニング、堅牢なシールド、コンパクトなラックマウント設計を備え、安定したプラズマ着火、一貫したプロセス性能、24時間365日の生産信頼性を実現します。新品、整備済み、完全テスト済み中古の状態で提供可能です。

主要仕様:

自動インピーダンス整合：RFジェネレーターの50Ω出力を可変プラズマ負荷インピーダンスにリアルタイムで整合；反射電力を最小化（通常
高速チューニング速度：高速応答（ほとんどのモデルで
広帯域周波数および電力対応：13.56MHz（標準）、27.12MHz、40.68MHzに対応；出力300W～10kW
堅牢構造：EMI/RFIシールド付き高耐久金属筐体；標準は空冷（水冷オプションは高出力モデル向け）
高精度コンポーネント：高品質可変コンデンサ、インダクタ、ステッピングモーターを採用し、長寿命（1,000,000回以上のサイクル）

用途:

半導体製造：RIE/ICPエッチング、PECVD/LPCVD成膜、プラズマアッシング、ウェーハ洗浄、ロードロックシステム
真空コーティング：スパッタリング、蒸着、光学・ディスプレイ・太陽電池向けPVD/CVD薄膜成膜
産業用プラズマ処理：金属、プラスチック、セラミックスの表面活性化、洗浄、エッチング、コーティング
研究開発：安定したRFプラズマ供給を必要とする大学研究室、研究機関、パイロット生産ライン

FAQ:

Q1:製品の状態と保証はどのようになっていますか？
A:新品の純正品です。1年間の保証が付属します。

Q2:お支払い条件は何ですか？
A:T/T、PayPalに対応しています。

Q3:製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A:標準モデルは在庫があり、お支払い後3～5営業日で発送されます。希少モデルはメーカー発注が必要です—納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4:配送および追跡
A:DHL/FedEx/UPSをご利用いただけます。追跡番号＋リンクは出荷後に提供されます。全プロセスを当社チームが監視します。

Q5:梱包および安全性