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新品 MKS EDGE6060A-G12 RFマッチャー

高精度で安定した性能

産業用オートメーションに適しています

在庫あり & 世界中へ迅速配送

商品番号:
EDGE6060A-G12
注文(MOQ):
1
支払い:
100% T/T
製品の起源:
USA
色:
As Model
出荷港:
Xiamen
リードタイム：
2-3 days

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製品詳細

説明：

MKS RF Matchers（RFマッチングボックス／ネットワークとも呼ばれる）は、半導体および産業用プラズマシステム向けに設計された高性能自動インピーダンス整合デバイスです。RFジェネレーターの50Ω出力インピーダンスを、プラズマチャンバー、エッチャー、PECVD、スパッタリング装置などの可変インピーダンスに動的に整合させ、反射電力を最小化し、電力伝送効率を最大化します。高速チューニング、堅牢なシールド、コンパクトなラックマウント設計を備え、安定したプラズマ着火、一貫したプロセス性能、24時間365日の生産信頼性を実現します。新品、整備済み、完全テスト済みの中古品として提供可能です。

主要仕様：

自動インピーダンス整合：RFジェネレーター出力の50Ωを可変プラズマ負荷インピーダンスにリアルタイムでチューニングして整合。反射電力を最小化（通常
高速チューニング速度：ほとんどのモデルで1秒未満（
広帯域の周波数・電力対応：13.56MHz（標準）、27.12MHz、40.68MHzをサポート。電力定格は300W～10kW
堅牢な構造：EMI/RFIシールドを備えた頑丈な金属筐体。標準は空冷（高出力モデルは水冷オプション）
精密コンポーネント：高品質な可変コンデンサ、インダクタ、ステッピングモーターを採用し、長寿命（1,000,000回以上のサイクル）を実現

用途：

半導体製造：RIE/ICPエッチング、PECVD/LPCVD成膜、プラズマアッシング、ウェハ洗浄、ロードロックシステム
真空コーティング：光学、ディスプレイ、太陽電池向けのスパッタリング、蒸着、PVD/CVD薄膜成膜
産業用プラズマ処理：金属、プラスチック、セラミックスの表面活性化、洗浄、エッチング、コーティング
研究開発：大学研究室、研究機関、安定したRFプラズマ供給を必要とするパイロット生産ライン

FAQ：

Q1：製品の状態と保証はどうなっていますか？
A：新品の正規品です。1年間保証付きです。

Q2：支払い条件は何ですか？
A：T/T、Paypal対応です。

Q3：製品の納期はどのくらいですか？在庫は十分にありますか？
A：標準モデルは在庫ありで、支払い後3〜5営業日以内に発送されます。希少モデルはメーカー発注となるため、納期についてはカスタマーサービスにお問い合わせください。

Q4：配送と追跡
A：DHL/FedEx/UPSをご利用いただけます。追跡番号とリンクは出荷後に提供されます。全プロセスを当社チームがモニタリングします。

Q5：梱包と安全性