説明:
MKSダイヤフラムバルブは、高純度ガス、真空、および重要な流体プロセス産業向けに特別に開発された、精密に設計されたアイソレーションおよびスロッティング制御バルブであり、半導体、真空コーティング、バイオテクノロジー、ファインケミカル分野におけるMKSの数十年にわたる精密流体制御技術に由来します。コアとなるダイヤフラム隔離構造を採用し、柔軟なダイヤフラムがプロセス媒体をアクチュエータおよび内部可動部品から完全に分離することで、外部漏れゼロ、超クリーンな流路、ならびに精密な開閉および比例流量制御を実現し、MKSのマスフローコントローラ、圧力トランスデューサーおよびプロセス制御システムと広く組み合わせられ、産業用流体ソリューション一式に対応します。
主な仕様:
- ダイヤフラム隔離設計により外部漏れリスクを排除し、スムーズでデッドスペースのない内部流路が粒子の蓄積を防止し、超高純度ガスおよび衛生的な生産基準を満たし、クリーンルームおよび半導体ウェハ製造に最適です。
- 選択可能なダイヤフラム材質:Kalrez、Viton、Buna-N、EPDM、PTFE。不活性ガス、腐食性化学ガス、高純度液体、溶剤および低粘度スラリーに対応;動作温度は-10℃から150℃まで対応し、高温プロセスモデルに適用可能です。
- 純正MKS制御ドライバおよびフローセンサーと組み合わせることで、高精度なクローズドループ流量/圧力調整を実現します。調整可能な流量範囲は0.1sccm〜50000sccmをカバーし、優れた低流量制御安定性を備え、最小制御流量はフルスケールの0.1%まで対応します。
- 手動、ソレノイド電動、空気圧駆動(ノーマルオープン/ノーマルクローズ)に対応可能;エンド接続はVCR、KFフランジ、NPTねじ、ISO標準フランジを含み、世界の主要配管規格に適合します。
- バルブ全体を分解することなくダイヤフラムを迅速に交換可能;コンパクトなオールインワン構造により予備部品コストと装置ダウンタイムを削減し、頻繁な切替動作条件に対する高いサイクル疲労耐性を備えています。
- 工場出荷前に厳格なリークテストを実施し、コーティング、蒸着、および薄膜成膜装置における高真空/超高真空配管の遮断に適用可能です。
Q1:製品の状態と保証はどうなっていますか?
A:新品の正規品です。1年間の保証が含まれます。
Q2:支払い条件は何ですか?
A:T/T、Paypal対応です。
Q3:商品の納期はどのくらいですか?在庫は十分にありますか?
A:標準モデルは在庫があり、支払い後3〜5営業日以内に発送されます。希少モデルはメーカー発注が必要となるため、納期についてはカスタマーサービスまでお問い合わせください。
Q4:配送と追跡
A:DHL/FedEx/UPSが利用可能です。発送後に追跡番号とリンクを提供します。全プロセスを当社チームが監視します。
Q5:梱包と安全性
A:純正ブランド梱包に強化保護(フォーム、密封カートン、精密機器用木箱)を施しています。防湿・耐衝撃仕様です。